雷尼紹RELA的RESOLUTE UHV的光柵尺傳感器
- 公司名稱 深圳創盛世科技有限公司
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- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2018/5/28 9:49:32
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什么是RELA柵尺？
RELA是用ZeroMet（一種低膨脹鎳/鐵合金）制造的因鋼柵尺，采用30 µm柵距的對式柵尺編碼。
它可與精細柵距的玻璃柵尺媲美，在1 m長度內的總體精度（包括斜率誤差和線性誤差）優于±1 µm。ZeroMet在20 °C時的熱膨脹系數為0.75 ±0.35 µm/m/°C。
系統設計人員可根據要求選擇背面自帶的特殊配方UHV兼容不干膠帶或用機械夾具進行安裝。兩種安裝方式都有助于使柵尺不受基體熱膨脹影響。
為什么選擇這種光柵系統？
UHV（超高真空）
RESOLUTE UHV采用雷尼紹革命性創新的對式光柵技術，通過一個適合在低達10 -9Torr的超高真空條件下應用的讀數頭充分發揮其技術優勢。新的RESOLUTE UHV光柵系列的構造有利于進行殘余氣體分析 (RGA) 而不會污染真空環境，非常適合高性能、半導體和科研等應用領域。
優異的運動控制性能
成熟、可靠和創新的工作方法造就了RESOLUTE UHV的業界的性能。重要的是，該系統使用標稱柵距為30 µm的單碼道非重復“條形碼”柵尺格式。RESOLUTE讀數頭采用*的光學設計，可以捕獲該柵尺的準瞬時圖像，在分析時，它還能在速度達到100 m/s時識別*位置。該系統能夠憑借低至1納米（十億分之一米）的分辨率以及低噪聲（抖動低于10 nm RMS）和僅為±40 nm的低SDE（電子細分誤差，一個柵尺刻劃周期內的誤差）確定位置。該分析提供具有優異保真度的光柵反饋，可確保更穩定的速度控制和*的位置穩定性。
寬松的安裝公差
RESOLUTE UHV沒有采用傳統的雙碼道并排（一個為增量式，另一個為對式）方法，因為該方法在有少量角度準直偏差時會出現移相這一固有問題。與之不同的是，這種對式光柵采用單碼道對式柵尺，將對位置和內置的相位信息整合為單個代碼。該技術使RESOLUTE UHV具有更寬松的安裝公差（扭擺公差為±0.5°），因此安裝快捷方便，具有優異的*穩定性，即使運動軸隨著時間的推移而出現駐留或移動時也是如此。讀數頭上有一個內置LED安裝指示燈，用于進一步協助安裝和診斷。
技術規格
| 測量標準 | RELA：對編碼式高精度ZeroMet柵尺 | |
| 讀數頭尺寸 (LxH) | 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm | |
| 柵距 | 標稱30 µm | |
| 20 °C時的熱膨脹系數 | 0.75 ±0.35 μm/m/°C | |
| 20 °C時的精度等級 | 認證精度達到±1 µm，校準可朔源到標準 | |
| 柵尺長度 |
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| zui高速度 | zui高可達100 m/s | |
| 協議* | BiSS C Panasonic | |
| 防護等級 | IP30 | |
| 分辨率 | BiSS C：分辨率為50 nm、5 nm和1 nm Panasonic：分辨率為100 nm、5 nm和1 nm | |
| 電子細分誤差 (SDE) | ±40 nm | |
| 電氣連接 | 柵尺長度可達10m（帶散線） | |
| 電源 | 5 V ±10%，5 V時zui大為250 mA（端接） | |
| 振動（工作） | 55 Hz至2000 Hz時100 m/s2（zui大值） | |
| 震動（非工作） | 1000 m/s2，6 ms，½正弦 | |
| 工作溫度 | 0 °C至+75 °C |
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