主要特征: ? 核心零部件全部*? 三軸均采用高精密天然花崗巖? 三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩，導軌*受磨損 ? 三軸均采用高精度進口光柵尺? X向采用精密60°三角梁技術，相比矩形梁，重心更低，質量剛性比*，運動更加可靠? Y 向采用整體燕尾式導軌，在降低機器重量的同時，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度和穩定性? 業界*的PCDMIS BASIC（PREMIUM）手動測量軟件，操作簡單，運行可靠? 符合人機工程學的設計規格型號與技術指標: 機器型號FSD564FSD686FSD8106FSD8126行程(mm)X500600800800Y60080010001200Z400600600600測量空間(mm)Dx614714914914Dy1155135515551755Dz535735735735Dx1135135135135Dy1105105105105花崗巖平臺螺紡尺寸(mm)M1172195270270M2327377427377Mx200125150150My150150150150外形尺寸(mm)L1155135515551755W940104012401240H2209260926092609承重(Kg)300300500500機器重量(Kg)725103012001400MPEe(μm)3.5+L/3003.5+L/3004.5+L/3005.0+L/300光柵尺分辨(μm)0.4空氣流量120NL/min供氣壓力0.45MPa溫度20±2℃濕度45%-75%