PTL-普特勒真空低溫等離子技術

    PTL真空等離子系統致力于為航空航天、汽車工業、半導體制造、紡織技術、電子微電子、生物工程、醫學醫療、塑料橡膠、科研開發等行業客戶提供解決方案，以幫助客戶提高產品質量、提升生產效率，同時降低對環境的不良影響。
     PTL等離子清洗和等離子刻蝕設備。采用集成化技術開發生產射頻頻率為40KHz、13.56MHz，以及代表等離子應用前沿技術的2.45GHz的等離子清洗機。

PDMS鍵合小型真空等離子清洗機

PTL真空等離子表面處理系統的特點：

等離子清洗機清洗效果好，效率高，應用范圍廣。

對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求

等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。

射頻功率無極連續可調。

高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。

特制電極和托盤結構，可充分利用真空艙體內部空間，使處理效率zui大化，同時也可保證樣品可得到全面有效的清洗。

*的過載、短路和過熱保護電路，可保證射頻電源的穩定和安全。

設備整體模塊化設計，安裝與維護極為簡單。

PDMS鍵合小型真空等離子清洗機

  PTL真空等離子系統構成

    PTL系列低壓等離子清洗系統由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。工作基本原理是利用真空泵將工作室進行抽真空達到30-50Pa 的真空度，再在高頻發生器交變電場的作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態），其顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的彩色可見光，材料處理溫度接近室溫。活性等離子對被清洗物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，從而達到清洗目的，并且得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性 。

  PTL真空等離子工藝的工藝范疇

    PTL真空等離子系統廣泛應用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產品主要分布在電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領域。其配件均選用其行業的產品，以保證性能技術穩定。