化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>VCVD 頂立科技|碳材料熱工設(shè)備 立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)
VCVD 頂立科技|碳材料熱工設(shè)備 立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)
- 公司名稱 湖南頂立科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) VCVD
- 產(chǎn)地 湖南長(zhǎng)沙
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2017/6/22 9:47:29
- 訪問(wèn)次數(shù) 691
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頂立科技|碳材料熱工設(shè)備 立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭) 技術(shù)特征
n 本化學(xué)氣相沉積爐根據(jù)爐膛尺寸與結(jié)構(gòu)設(shè)置溫區(qū),溫度均勻性好;
n 本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
n 本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;
n 對(duì)炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效的處理。
頂立科技|碳材料熱工設(shè)備 立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭) 配置選擇
u 爐門:絲杠升降/液壓升降/手動(dòng)升降;手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊
u 爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
u 爐膽:軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
u 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
u 工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計(jì);手動(dòng)閥/自動(dòng)閥;進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
u 真空泵和真空計(jì)---進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
u 人機(jī)界面:模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)
u PLC:歐姆龍/西門子
u 控溫儀表:日本島電/英國(guó)歐陸
u 熱電偶:C分度號(hào)/S分度號(hào)/K分度號(hào)/N分度號(hào)
u 記錄儀:無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀;進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
u 電器元件:正泰/施耐德/西門子
產(chǎn)品規(guī)格
立式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)產(chǎn)品規(guī)格
參數(shù)型號(hào) Spec.Model | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1015-C | VCVD-1120-C | VCVD-1520-C | VCVD-2632C |
工作區(qū)尺寸D×H(mm) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 | Φ1500×2000 | Φ2600×3200 |
zui高溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性(℃) | ±5 | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
極限真空度(Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
湖南頂立科技有限公司是一家專業(yè)從事*新材料及熱工裝備研制、生產(chǎn)的“國(guó)家重點(diǎn)*”, 公司通過(guò)并購(gòu)上市(股票代碼:002171楚江新材),成為全國(guó)為數(shù)不多的*新材料及智能熱工裝備的上市企業(yè)。
公司研發(fā)實(shí)力雄厚,創(chuàng)新能力強(qiáng),擁有多專業(yè)、高水平的協(xié)同創(chuàng)新研發(fā)團(tuán)隊(duì);擁有“全國(guó)博士后科研工作站”、“湖南省院士專家工作站”、“湖南省新型熱工裝備工程技術(shù)研究中心”、“湖南省企業(yè)技術(shù)中心”、“湖南省工程實(shí)驗(yàn)室”等創(chuàng)新平臺(tái)。攻克了*制約我國(guó)熱工裝備及新材料領(lǐng)域的重大關(guān)鍵核心技術(shù),取得了一系列科技成果。申請(qǐng)和*220余項(xiàng),其中發(fā)明110余項(xiàng),起草國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5項(xiàng);榮獲省部級(jí)科技獎(jiǎng)勵(lì)12項(xiàng),其中湖南省國(guó)防科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)2項(xiàng)、中國(guó)有色科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)1項(xiàng)、湖南省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)1項(xiàng);完成科技成果鑒定(科學(xué)技術(shù)評(píng)價(jià))16項(xiàng),其中1項(xiàng)“”、9項(xiàng)“*”;公司創(chuàng)新產(chǎn)品獲“國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品”、“湖南省重點(diǎn)新材料產(chǎn)品*次”、“湖南省*(套)重大技術(shù)裝備”、“湖南省百項(xiàng)重點(diǎn)新產(chǎn)品”支持。
公司研制開(kāi)發(fā)的熱工裝備,廣泛適用于碳及碳化硅復(fù)合材料、真空熱處理、粉末冶金等多個(gè)領(lǐng)域。公司以振興民族產(chǎn)業(yè)為己任,積極參與國(guó)家重大專項(xiàng)的建設(shè),先后完成多項(xiàng)國(guó)家重大專項(xiàng)急需的新材料及熱工裝備的研制,成功打破西方國(guó)家封鎖和禁運(yùn);助力航天系統(tǒng)建成了*大尺寸、異型碳纖維復(fù)合材料構(gòu)件熱凈近成形智能熱工裝備數(shù)字化車間,推動(dòng)航天航空等領(lǐng)城熱處理加工的智能制造,公司是航天航空等領(lǐng)域特種大型熱工裝備的重要研制生產(chǎn)單位。公司快速崛起成為我國(guó)**材料領(lǐng)域的新銳,專業(yè)生產(chǎn)高品質(zhì)金屬3D打印球形粉體材料及金屬3D打印制品和特種系列碳/碳化硅等陶瓷基復(fù)合材料。
多年以來(lái),公司秉承“創(chuàng)新、服務(wù)、為顧客創(chuàng)造價(jià)值”的理念,始終以滿足客戶體驗(yàn)度及實(shí)現(xiàn)客戶價(jià)值為前提,成為*新材料及熱工裝備領(lǐng)域方案解決者和綜合服務(wù)商。
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