化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>TF1200-PECVD PECVD石墨烯生長(zhǎng)制備爐
TF1200-PECVD PECVD石墨烯生長(zhǎng)制備爐
參考價(jià) | ¥ 1688 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 昆山艾科迅機(jī)械有限公司
- 品牌
- 型號(hào) TF1200-PECVD
- 產(chǎn)地 江蘇蘇州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2017/5/6 13:55:27
- 訪問次數(shù) 551
PECVD石墨烯生長(zhǎng)制備爐石墨烯生長(zhǎng)爐化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)江蘇蘇州供應(yīng)石墨烯生長(zhǎng)爐價(jià)格
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
PECVD石墨烯生長(zhǎng)制備爐,滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置,可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用,工藝重復(fù)性好,對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。
PECVD石墨烯生長(zhǎng)制備爐特征描述
此款設(shè)備配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置,可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用,工藝重復(fù)性好,對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。
功能及特點(diǎn)
1、利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相;
2、提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量;
3、可通過調(diào)整射頻電源頻率來控制沉積速率;
4、能廣泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長(zhǎng)。
技術(shù)參數(shù)
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- 氮?dú)浠旌蠚怏w燒結(jié)爐光亮還原退火爐氣氛保護(hù)退火爐
- 1400度氮?dú)獗Wo(hù)爐 可混氣氛高溫?zé)Y(jié)爐蘇州氣氛爐廠家質(zhì)保
- 蘇州氣氛燒結(jié)爐廠家 硅鋼片氣氛保護(hù)熱處理爐廠家質(zhì)保售后無憂
- 1400度數(shù)顯氣氛燒結(jié)爐陶瓷纖維退火爐箱式氣氛保護(hù)爐氣氛爐廠家有現(xiàn)貨質(zhì)保一年
- 數(shù)顯高溫馬弗爐箱式爐智能控溫馬弗爐
- 1200℃箱式爐馬弗爐箱式高溫?zé)Y(jié)爐昆山優(yōu)質(zhì)廠家有現(xiàn)貨
- 電子陶瓷燒結(jié)爐箱式爐廠家
- 高溫爐處理蜂窩陶瓷,蜂窩陶瓷燒結(jié)爐