KJ-T1200-S6012CK-3F5 等離子體增強型化學氣相沉積系統 石墨烯快速生長爐 PECVD
參考價 | ¥ 125000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 鄭州科佳電爐科技有限公司
- 品牌
- 型號 KJ-T1200-S6012CK-3F5
- 產地 河南省鄭州市高新開發區玉蘭街55號
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2016/10/14 12:55:46
- 訪問次數 604
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箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業電爐,并提供各類電爐配件,加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳電爐有限公司位于鄭州電子商務產業園,公司是專業做各種高溫加熱設備的生產廠家,產品主要用于CVD石墨烯制備設備、熒光粉燒結設備、氧化鋯生物陶瓷燒結、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結、稀有金屬的區域提純等研究發展方向。公司主營產品有真空熱壓爐、箱式馬弗爐,管式電阻爐,真空爐,氣氛爐,CVD系統,牙科爐,升降爐,軌道爐等。
產品介紹:
KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,zui高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以對多種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。
KJ-T1200-S6015LK1-H系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率zui大可達100°C/m。為取得zui快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得zui快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
應用范圍:
KJ-T1200-S6012CK-3F5S型高溫真空CVD設備是一種特殊的高真空CVD系統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
規格參數:
結構 | 采用雙層殼體結構,并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C。保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能,減少熱量的損失內爐膛表面涂有進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命 | |
加熱元件 |
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工作溫度 | 1100°C | |
zui高溫度 | 1200°C | |
zui大升溫速率 | 5°C/min | |
zui大降溫速率 | 5°C/min | |
加熱區長度 | 455mm (18") | |
恒溫區長度 | 150(+/-1°C) | |
溫控系統 | 一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR可設置30段升降溫程序。 | |
控溫精度 | +/-1°C | |
爐管材質和尺寸 | 石英管 ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm | |
密封法蘭 | 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經安裝數字式真空顯示計,和閥門通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr,泄漏率zui大6 mtorr/min | |
輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:zui大5KW | |
真空泵和配件 | 一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr | |
標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍一個LED數字式真空顯示計(測量范圍: 0.1mtorr ~ 850 torr) | ||
氣體流量計 | 4個浮子流量計,可同時混入4種不同氣體。 | |
產品尺寸 | 外徑80 & 1000mm 的氧化鋁石英管 |
說明:1、本產品的規格參數僅供參考,以具體產品實際參數為準,請與銷售及咨詢客服人員。
2、產品圖片及外觀尺寸在不斷研發更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除標準產品外、我公司可根據客戶要求,進行設計生產,具體與銷售人員
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:鮑婷 :