有需要的朋友可以登錄www.wayes-vac。。com了解詳情或是4006-521-586咨詢
維意真空PECVD等離子體增強化學氣相沉積鍍膜設備
*** PE-CVD結構特點介紹:
1、PECVD系列真空管式高溫燒結爐如圖所示,集控制系統與爐膛為一體;
2、爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料,采用進口高溫合金電阻絲為加熱元件;
3、高純石英管橫穿于爐體中間作為的爐膛,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,工件式樣在管中加熱,加熱元件
與爐管平行,均勻地分布在爐管外,有效的保證了溫場的均勻性;
4、測溫采用性能穩定,長壽命的“K”型熱電偶,以提高控溫的精準性;
5、它是專為高等院校﹑科研院所及工礦企業對金屬,非金屬及其它化和物材料在氣氛或真空狀態下進行燒
結﹑融化﹑分析而研制的設備;
6、MPECVD系列真空管式爐能夠快速開啟,快速升降溫,方便客戶對特殊材料的裝載,燒制和觀察;
7、爐體的控制面板配有觸摸屏,控制電源開關,配有電源和保險指示燈,以便隨時觀察本系統的工作狀態。