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施啟樂(lè)(廣州)儀器有限公司

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PCE-22 加熱型紫外臭氧清洗機(jī)

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價(jià)比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠(yuǎn)銷到歐洲,美國(guó),日本,德國(guó)等許多國(guó)家,廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評(píng)。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動(dòng)球磨機(jī),RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機(jī),電池制備設(shè)備等

 PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤(rùn)濕性,清洗SEM &TEM,紫外對(duì)聚合物改性等。
   紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長(zhǎng)的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。

 

技術(shù)參數(shù)

電源

AC 208~240V,單相 50/60Hz

紫外燈

  • 可發(fā)出雙波長(zhǎng)的水銀燈
  • 功率:55W
  • 發(fā)出光的波長(zhǎng):254 nm 和 185 nm 
  • 使用壽命:2500 小時(shí)(可在本公司購(gòu)買紫外燈來(lái)更換)
  • 照射區(qū)域:200 x 200 mm

腔體&樣品臺(tái)

  • 不銹鋼殼體
  • 抽屜式樣品臺(tái),以便放樣取樣
  • 樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm
  • 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上
  • 樣品臺(tái)與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào))
  • 樣品臺(tái)可以加熱,zui高溫度可達(dá)150℃
  • 可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃
  • 設(shè)備運(yùn)行時(shí)間:0.01 秒- 99.9小時(shí)

排氣口

  • 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
  • 請(qǐng)將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外
  • 儀器中不包含橡膠管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
 

凈重

28kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含紫外燈)

應(yīng)用

  • 去除分子級(jí)別的污染物
  • 紫外光固化粘合劑
  • 紫外光催化
  • 氧化PDMS
  • 表面消毒
  • 刻蝕
  • 清洗MEMS 器件
  • 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片


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