化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備>KJ-1200-S6014LK1-H 等離子體增強型化學氣相沉積系統(tǒng) 雙溫區(qū)滑軌式PECVD系統(tǒng)
KJ-1200-S6014LK1-H 等離子體增強型化學氣相沉積系統(tǒng) 雙溫區(qū)滑軌式PECVD系統(tǒng)
參考價 | ¥ 165000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 鄭州科佳電爐科技有限公司
- 品牌
- 型號 KJ-1200-S6014LK1-H
- 產(chǎn)地 河南鄭州高新區(qū)
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2016/9/19 14:36:44
- 訪問次數(shù) 587
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箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件,加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳電爐有限公司位于鄭州電子商務產(chǎn)業(yè)園,公司是專業(yè)做各種高溫加熱設備的生產(chǎn)廠家,產(chǎn)品主要用于CVD石墨烯制備設備、熒光粉燒結設備、氧化鋯生物陶瓷燒結、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。公司主營產(chǎn)品有箱式馬弗爐,管式電阻爐,真空爐,氣氛爐,CVD系統(tǒng),牙科爐,升降爐,軌道爐等
產(chǎn)品描述:
KJ-1200-S6012LK1-H多路混氣管式PECVD系統(tǒng),由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成
技術參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | |
滑道管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號 | KJ-1200-S6014LK1-H |
爐管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
工作溫度 | 1100℃ |
zui高溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
溫控系統(tǒng) | 30段PID微電腦可編程自動控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示) |
溫控精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
zui快升溫速率 | 30oC/M |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
zui大功率 | 3KW |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度:1200mm |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥。 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉。 |
爐 管 | 石英爐管 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 進口真空泵 |
極限壓力(mbar/ Torr) | 2.0 x 10-3 /1.5 x 10-3 |
極限壓力GB I(mbar/ Torr) | 3.0 x 10-2 /2.3 x 10-2 |
名稱 | 數(shù)字真空計 |
| |
名稱 | 4路質子流量計 |
型號 | D07-26 |
主要參數(shù) | 基準源:+5.00V±0.1% 10mA~供電源220V±10% 50Hz |
射頻器部分 | |
名稱 | 射頻電源 |
0-500W | |
工作頻率 RF | 13.56MHZ |
匹配時間 | 3-5S |
傳輸效率 | >90% |
匹配器電源 | AC187V-253V |
UHF | |
控制模式 | 手動/自動 |
匹配阻抗范圍 | 實部0-88Ω 虛部-j200 ~~+j200(可根據(jù)負載調節(jié)阻抗)
|
說明:1、本產(chǎn)品的規(guī)格參數(shù)僅供參考,以具體產(chǎn)品實際參數(shù)為準,請與銷售及咨詢客服人員。
2、產(chǎn)品圖片及外觀尺寸在不斷研發(fā)更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除標準產(chǎn)品外、我公司可根據(jù)客戶要求,進行設計生產(chǎn),具體與銷售人員
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聯(lián) 系 人:鮑婷