YZ-2020 宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學氣相沉積裝置
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 合肥宇正等離子體技術有限公司
- 品牌
- 型號 YZ-2020
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2017/7/7 3:23:36
- 訪問次數 915
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概述
宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學氣相沉積裝置由合肥宇正等離子體技術有限公司研發生產。該裝置早在2000年就通過省*鑒定并在多所大學與科研院所等單位投入使用,效果良好。歷經多年發展,該裝置技術*,性能穩定,使用方便可靠。
宇正YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學氣相沉積裝置由微波系統、沉積室、氣路系統、真空系統、循環水冷卻系統和電子控制系統組成。裝置的主要工作原理是由微波源產生頻率為2450MHz的微波,沿波導管傳輸,從而激發和維持軸對稱橢球狀等離子體。該裝置實現了微波與等離子體的軸對稱耦合,增強了沉積腔中心部位的電場強度,提高了微波功率的輸入水平,改善反映沉積室對微波傳輸線的阻抗匹配,zui后在諧振腔的真空室部分(石英鐘罩)內激勵氣體形成軸對稱的等離子體球,等離子體球的直徑大小取決于真空沉積室中的氣體壓力和微波功率。基片溫度以微波等離子體的自加熱方式達到。
技術指標與特性
1) 裝置采用2XZ-4旋片式真空泵。配有熱偶規真空計和壓阻規真空計測量不同范圍真空度。本底真空0.1pa。工作真空由高真空隔膜閥粗調和高真空微調閥細調手動控制并由相應的真空計測量顯示。
2) 微波發生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0-800W連續可調(zui大功率可達1200W)。帶有微波輸出功率顯示(精確至1W)和反射指示。可長時間連續工作。
3) 微波系統配有環行器、帶反射功率檢測的水負載、三螺釘阻抗調配器、模式轉換器、微波諧振腔。整個系統無微波泄露。
4) 兩路氣體輸入,可用氮氣、氧氣、氫氣、甲烷等常用氣體。氣體流量采用玻璃轉子流量計(德國引進技術)顯示和調節并由高真空微調閥手動控制。按用戶要求亦可選用多路質量流量控制器和質量監控顯示盒組成的自動控制氣路系統,費用另計。
5) 沉積室由外徑130mm的石英罩、石英均流罩和可手動升降的石英基片臺(和石墨基片臺)組成。采用反應氣體均流措施,改善了沉積環境。在沉積金剛石膜時,工作氣壓3—13Kpa,基片以微波等離子體的自加熱實現加溫可達500—1100C。
6) 裝置常規采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。
7) 根據用戶要求,裝置可選配*的自動控制與保護系統,當水、電或氣出現故障時,裝置會報警并自動關機,可實現長時間無人值守與穩定運行,特別適用于金剛石薄膜沉積。