概述
宇正YZ-2010石英管式微波等離子體裝置由合肥宇正等離子體技術有限公司研發生產,技術*,性能穩定。本裝置利用微波激勵氣體放電在石英管中產生穩態等離子體,等離子體產生效率高。樣品裝卸簡捷,操作方便,維護簡單。輸入不同的工作氣體,可進行薄膜材料的制備、化學合成、表面刻蝕、等離子體燒結等多方面的實驗,可廣泛用于物理、化學、材料等領域。
技術指標與特性
1) 裝置常規采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。
2) 微波發生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0-800W連續可調(zui大功率可達1200W)。帶有微波輸出功率顯示(精確至1W)和反射指示。可長時間連續工作。微波耦合腔為水冷夾套結構,滿足各類實驗要求。
3) 等離子體反應室為內徑ф50mm的石英管真空室,頂部觀察窗和正與左側面的觀察網孔方便進行各種實驗觀察。
4) 基片臺位置可調節,并方便拆卸,裝卸區直徑ф50mm,并可選配石英基片臺與石墨基片臺。基片臺為微波等離子體自加熱,溫度自室溫至1200℃。
5) 配備冷卻水循環系統,無水源要求。確保裝置高功率下長時間安全穩定運行。
6) 兩路氣體輸入,在等離子體發生室頂部中心輸入工作氣體。
7) 真空度顯示(精確至1Pa)。
8) 氣體流量在較大范圍可調并顯示(精確至0.01L/min)。
9) 無電極放電,避免了電極污染,能量轉換效率高。