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YZ-2010 宇正YZ-2010石英管式微波等離子體裝置

具體成交價以合同協議為準

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    合肥宇正等離子體技術有限公司(宇正公司)是以微波等離子體應用技術及其相關裝置、工藝為研究開發對象的高科技公司,專業從事微波等離子體應用技術研究開發和生產,致力于微波等離子體應用技術的科技成果轉化和產業化。宇正公司的主營業務為等離子體技術應用設備與制品,微波能應用技術設備與制品,以及科技咨詢與技術服務等。


    合肥宇正等離子體技術有限公司依托*合肥物質科學研究院(包括等離子體物理研究所、智能機械研究所等單位)與中國科學技術大學的人才資源和技術優勢,由部分*從事國家重大科學工程的科技研發人員創建,擁有一批微波等離子體應用技術方面的*專家和中堅骨干,形成一支經驗豐富的集高頻,微波和等離子體技術、電氣自控技術、機械設計加工以及成套工程技術和高級管理相結合的精干團隊。宇正公司緊密追蹤微波等離子體應用技術的*水平,站在技術發展的前沿。宇正公司還擁有嚴格的質量管理和*的顧客服務體系。宇正公司的宗旨是為用戶提供優質的微波等離子體應用技術產品和滿意的服務。


    宇正公司具有微波、真空、等離子體測試手段,計算機CAD系統,多種微波和等離子體實驗研究系統以及必要的工藝和機械加工裝配手段,具備了從理論計算、數值模擬、工程設計、加工裝配、調試檢驗、批量生產和質量控制等一整套研開發以及專業化生產的優勢能力。公司具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協加工配套基地。宇正公司技術核心團隊成員從事微波等離子體應用技術研究開發二十余年,曾到*公司和大學研究機構訪問合作,將*的技術和理念直接引進國內。經過多年堅持不懈的研究和開發,已在微波等離子體*領域形成了一套具有自主知識產權的系列產品和技術,在國內居*地位。并已與國內眾多家用戶有著密切的合作關系和良好的信譽。


    宇正公司曾經為多個用戶制造過不銹鋼腔體式、石英管式、石英鐘罩式和水冷夾套不銹鋼腔體式微波等離子體化學氣相沉積制備金剛石膜裝置,微波等離子體余輝聚合有機薄膜裝置,微波等離子體小試樣紡織品處理裝置,微波等離子體高聚物表面活化裝置,微波等離子體清洗(去膠)裝置,通用型ECR等離子體裝置,ECR等離子體源離子注入(ECRPIII)裝置等等,宇正公司也是微波等離子體應用領域的高技術研究向產業化轉化的操作平臺,根據市場需要自行研制各種微波等離子體應用裝置,或者與有關大學(研究所或企業研發部門)合作研制特定用途的微波等離子體*設備與工藝,*國內技術空白。

YZ-2多功能微波等離子體裝置
金剛石膜制備裝置
紡織品處理裝置
高聚物表面活化裝置
微波等離子體清洗去膠裝置

概述
宇正YZ-2010石英管式微波等離子體裝置由合肥宇正等離子體技術有限公司研發生產,技術*,性能穩定。本裝置利用微波激勵氣體放電在石英管中產生穩態等離子體,等離子體產生效率高。樣品裝卸簡捷,操作方便,維護簡單。輸入不同的工作氣體,可進行薄膜材料的制備、化學合成、表面刻蝕、等離子體燒結等多方面的實驗,可廣泛用于物理、化學、材料等領域。

技術指標與特性
1) 裝置常規采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。
2) 微波發生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0-800W連續可調(zui大功率可達1200W)。帶有微波輸出功率顯示(精確至1W)和反射指示。可長時間連續工作。微波耦合腔為水冷夾套結構,滿足各類實驗要求。
3) 等離子體反應室為內徑ф50mm的石英管真空室,頂部觀察窗和正與左側面的觀察網孔方便進行各種實驗觀察。
4) 基片臺位置可調節,并方便拆卸,裝卸區直徑ф50mm,并可選配石英基片臺與石墨基片臺。基片臺為微波等離子體自加熱,溫度自室溫至1200℃。
5) 配備冷卻水循環系統,無水源要求。確保裝置高功率下長時間安全穩定運行。
6) 兩路氣體輸入,在等離子體發生室頂部中心輸入工作氣體。
7) 真空度顯示(精確至1Pa)。                               
8) 氣體流量在較大范圍可調并顯示(精確至0.01L/min)。      
9) 無電極放電,避免了電極污染,能量轉換效率高。



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