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輕松實現從毫米到納米無縫轉換測量。
兼具激光共聚焦顯微鏡和探針顯微鏡功能的一體機。
輕松檢測85°尖銳角
采用了有著高N.A. 的物鏡和光學系統(能大限度發揮405 nm 激光性能)，LEXT OLS4500 原子力激光共聚焦顯微鏡可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。
高度分辨率10nm，輕松測量微小輪廓
由于采用405 nm的短波長激光和更高數值孔徑的物鏡，OLS4500原子力激光共聚焦顯微鏡達到了0.12μm的平面分辨率。因此，可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯*的亮度檢測技術，OLS4500可以分辨出亞微米到數百微米范圍內的高度差。此外， 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標——“正確性”(測量值與真正值的接近程度)和“重復性”(多次測量值的偏差程度)的性能。
0.12μm行間距 高度差標準類型B, PTB-5
從大范圍拼接影像中目標區域
高倍率影像容易使視場范圍變小，而通過設置，OLS4500的拼接功能多可以拼接625幅影像，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數據。不僅如此，還可以在該大范圍視圖上進行3D顯示或3D測量。
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