北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ）是一家專業從事實驗設備、分析儀器、耗材、試劑等相關實驗室用品生產的廠家。目前公司主要產品：EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機、烤膠機、提拉鍍膜機、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設備等。作為一家為科學研究提供服務的企業，無論您將新建一個全新的實驗室還是日常的科研工作，泰諾源都能為您提供的產品和滿意的服務。

柜式半導體噴膠機SP200-SE

隨著IC產業工藝的不斷發展，疊層封裝逐漸成為技術發展的主流簡稱“3D”。硅穿孔（TSV）作為3D封裝的重要工藝，越來越受到人們的重視，傳統的涂膠方法不能滿足TSV深孔涂膠要求，我公司研發的納米噴涂技術，采用進口高精度柱塞泵配合超聲波震蕩霧化方式，將光刻膠均勻涂布在溝槽表面。可滿足主流TSV，MEMS，WLP等工藝制程。

柜式半導體噴膠機SP200-SE噴膠機

• 熱盤加熱及旋轉控制系統         
• XY雙電缸運動控制系統
• 膠液微流量平流傳輸系統
• 超聲波霧化噴涂系統
• 圓晶真空吸附和頂升系統
• 高級PLC控制和觸屏操作
• 排廢和抽風系統                      

SP200-SE噴膠機技術參數：

型號                SP200-SE

Wafer尺寸           200mm以下，向下兼容

熱盤溫度           室溫至200℃，控溫精度±0.5℃，溫度均勻性小于±1%

熱盤電機額定轉速    1000rpm

XY移動zui大速度      X 軸500mm/sec，Y 軸250mm/sec

Pump流速范圍        1ml/min-20ml/min可調

操作系統           人機互動界面PLC控制

噴嘴移動方式       電動機械組合XY電缸

電源               AC220V，50HZ，1.5KW 

機器尺寸            800＊600＊1800

重量              55Kg

工作環境            濕度：20-90%，溫度20-30℃

SP200-SE噴膠機主要配置

高精度伺服馬達              1   臺

XY軸電缸                    1   SMC

高精度柱塞泵                2   雙泵平流傳輸

超聲波發生器＋霧化噴頭      1   套      霧化顆粒40微米以下

7寸全彩觸屏                 1   只      威綸

特殊設計的熱盤系統          1   套

高效真空和頂升系統          1   套

SP200-SE噴膠機工藝指標

噴膠工藝通常的兩種情形和要求

1、AZ5620 （紅膠）配比丙酮，體積比 1:10，噴涂工藝為單臺階圖形。噴涂后一般要求頂部厚度14um左右，底部10um左右，拐角厚度大于4um。

2、另外一種是綠膠，工藝名稱為WLP32，膠的配比是用LSF60配比丙酮而成，通常配比比例為1:8，噴的工藝是雙臺階圖形。綠膠一般頂部要求在15um左右，拐角大于5um，底部12um左右。

設備測試情況

噴樣情況（雙臺階圖形）

噴樣情況（單臺階圖形）

SP200-SE噴膠機優勢和特點

★使用高精度微流量耐腐蝕柱塞泵，采用雙泵平流的方式進行液體傳輸。精度高、重復性好。

★高頻超聲波霧化噴嘴，霧化顆粒均勻，尺寸小于40um。

★高精密控溫系統，控溫范圍：室溫-200℃，控溫精度±0.5℃。

★專業的技術服務，提供DEMO試機服務，24小時維修響應。

★提供定制化和特殊要求設計。

北京泰諾鑫源科技有限公司奉行“進取 求實 嚴謹 團結”的方針，不斷開拓創新，以技術為核心、視質量為生命、奉用戶為上帝，竭誠為您提供高性價比的實驗裝備、分析儀器產品及無微不至的服務。如對產品有疑問可直接我公司相關客服人員！

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售后服務：

本著“為顧客提供zui滿意的產品和服務”的經營宗旨，我司鄭重承諾：在確保設備的*性、可靠性、穩定性的同時，不斷改進服務質量，從售中到售后的交貨、調試開通、設備維護管理、技術服務、用戶技術培訓等各方面，保證顧客能得到的服務，讓顧客滿意、放心。