MICROPOLE系統 殘余氣體分析儀
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海首立實業有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MICROPOLE系統
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/3/19 7:11:17
- 訪問次數 5135
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,生物產業,石油,能源,電子 |
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特征
- 較為緊湊的安裝尺寸和較輕的重量
與傳統的殘余氣體分析儀相比,尺寸較小,這使它容易整合到您的系統之中。
- 高性能
在只占傳統電極一小部分的體積里,微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度。
- 高壓力條件下可使用
可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10-3mbar)的壓力條件下使用,在許多需要昂貴真空泵的應用當中,可以簡化或者省略泵的使用。
- 已經校準過的可替換傳感器接頭
此傳感器接頭在出貨之前已經進行過預調諧和校準。允許客戶自己在現場進行傳感器的更換。
- 網絡傳感器
升級到八電極后,可以通過一臺使用RS485接口的電腦進行監測。此系統也可以通過以太網進行遠程監測。
- 用戶友好軟件
微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監測氣體的部分壓力,如趨勢曲線圖,相似性曲線圖,泄露模式,條形統計圖,3D等
- 監測控制
可選擇性的監測控制器可以安裝在反應室的光譜發生器上,使用戶無需電腦可以監測真空反應室。
■測量原理
殘余氣體分析儀是由一個離子源,一個質量分光儀和一個監測單元組成。當殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后,它將被離子化。并且,這些因此產生的離子會加速會合到質量能譜儀上。在質量能譜儀上內,直流和交流電壓被應用到四個圓柱形的電極上(方形排列),從而讓離子因質量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發現。這種離子電流是與殘余氣體的質量成比例的。