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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>去膠機> AL18微波等離子去膠清洗機

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AL18微波等離子去膠清洗機

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地 德國
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2023/11/13 12:50:25
  • 訪問次數 1999

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產等企業(yè)機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀,包含飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)、質子轉移反應(PTR)質譜儀、電子轟擊電離(EI)質譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

產地類別 進口 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產業(yè),電子,制藥

微波等離子清洗去膠

AL18微波等離子去膠清洗機概述:AL18等離子系統適用于小批量生產和研發(fā)的*設備。并且,此系統可以滿足360度的芯片封裝需要。AL18系統是一款創(chuàng)新型的通用設備,可選配旋轉轉盤,及ECR(電子回旋共振)裝置。

AL18微波等離子去膠清洗機技術參數:

  • 腔體:鋁
  • 容積:18公升
  • 尺寸:寬度250毫米×深度290毫米×高度250毫米
  • 腔室門:帶觀察窗口的鉸鏈式門
  • 微波源:2.45GHz,可調50-600W
  • 氣體進氣:1路數字顯示的質量流量器控制
  • 真空計: Pirani,1-1000Pa
  • 真空系統:DN 25 ISO-KF
  • 真空閥:電動氣動閥

系統控制:

  • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
  • 7”觸摸屏、圖形用戶界面
  • Windows Office兼容
  • 存儲處理數據和錯誤信息,處理數據輸出
  • 工藝參數圖形曲線的 監(jiān)測
  • 自動或手動操作

選配:

  • 真空泵 : 雙級真空泵,如,抽吸能力大40m3/h
  • 氣路:額外的數字顯示質量流量控制器
  • 旋轉臺:鋁,直徑200mm,速度可調
  • ECR(電子回旋共振):鋁、支架配置永磁體


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