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NMC-3000等離子輔助MOCVD
- 公司名稱(chēng) 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/11/13 12:19:13
- 訪問(wèn)次數(shù) 1848
進(jìn)口PAMOCVD進(jìn)口PEMOCVD等離子MOCVD金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉等離子輔助MOCVD
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ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥 |
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等離子輔助MOCVD技術(shù)
NMC-3000等離子輔助MOCVD概述：NANO-MASTER針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無(wú)油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動(dòng)控制，*的安全互鎖。
目前，這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
NMC-3000等離子輔助MOCVD應(yīng)用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
NMC-3000等離子輔助MOCVD系統(tǒng)特點(diǎn)：
- 臺(tái)式系統(tǒng)
- 5個(gè)帶獨(dú)立冷卻槽的起泡器
- 加熱的氣體管路
- 950 °C樣品臺(tái)，2”晶圓片
- 3個(gè)氣體環(huán)
- RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
- 工藝完成后N2自動(dòng)沖洗
- 極限真空5x10-7Torr
- 260 l/s的渦輪分子泵串接無(wú)油干泵
- 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
- 菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問(wèn)控制
- 完整的安全聯(lián)鎖
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