NIM-4000（M）離子銑刻蝕系統

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離子銑系統 NIE-4000離子銑 IBM離子銑系統

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那諾中國有限公司專注于為大中華區域（包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣）的高校、科研院所、企業研發與生產等企業機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。

那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備（包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等）。

那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀，包含飛行時間二次離子質譜儀（TOF-SIMS）、質子轉移反應（PTR）質譜儀、電子轟擊電離（EI）質譜儀等。

展開

ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機，PA-MOCVD，飛行時間二次離子質譜儀（TOF-SIMS）

產地類別	進口	應用領域	醫療衛生,化工,生物產業,電子,制藥

IBM離子銑

NIM-4000（M）離子銑刻蝕系統產品概述：利用離子束轟擊固體表面的濺射作用，剝離加工各種幾何圖形，通過大面積離子源產生的離子束，可對固體材料濺射刻蝕，對固體器件進行微細加工。該系統為全自動上下載片，計算機全自動控制的系統。

NANO-MASTER技術已經證明了可以把基片溫度控制在50° C以內的同時，旋轉晶圓片以達到想要的均勻度。

NIM-4000（M）離子銑刻蝕系統產品特點：