產品名稱: | 碳化硅(SiC)晶體基片 | ||||||||||||||||||||||||
技術參數: |
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產品規格: | 摻雜類型:6H N型 <0001> 表示專門摻N的,摻雜濃度是10E18-10E19;4H N型;半絕緣; 拋光情況:單拋或雙拋; 表面粗糙度:Ra<10A 常規晶向 :<0001>現可供應<10-10>和<11-20>,10x10x0.3mm,單拋 一種低電阻率(0.01~0.1 ohm.cm),一種是高電阻率(>10^5 ohm.cm) | ||||||||||||||||||||||||
標準包裝: | 1000級超凈室100級超凈袋包裝或單片盒、插盒裝 |
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