RTP快速退火爐主要技術(shù)參數(shù)
1 | 項(xiàng) 目 | 主要技術(shù)指標(biāo) | 數(shù)據(jù) |
2 | 規(guī)格型號(hào) | NBD-HR1200X-110IT |
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3 | 溫度控制 | zui高溫度點(diǎn) | 1200℃ |
4 | 額定溫度 | 1100℃ | |
5 | 穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 | 100~1000℃ | |
6 | 溫度測(cè)量精度 | ±0.2℃ | |
7 | 溫度控制重復(fù)性 | ±1℃ | |
8 | 溫度控制精確度 | ±1℃ | |
9 | 溫場(chǎng)均勻性 | ±2℃ | |
10 | 溫度狀態(tài)工藝時(shí)間(S) | 2~100(100~1000℃) | |
11 | zui快升溫速率 | 500℃/S | |
12 | 降溫速率(℃/S) | 1~200(通氮?dú)猓俾矢欤?/span> | |
13 | 溫度控制模式 | 智能模糊全閉環(huán)控制 | |
14 | 軟件功能 | 操控系統(tǒng) | NBD-101智能系統(tǒng) |
15 | 用戶界面 | 中英文互換 | |
16 | 工藝菜單編輯 | 觸屏式圖像操作界面 | |
17 | 擴(kuò)充端口 | 可擴(kuò)充真空測(cè)控和FFC供氣 | |
18 | 看門狗 | 系統(tǒng)進(jìn)入死循環(huán)時(shí)關(guān)閉主控制器 | |
19 | 熱電偶校準(zhǔn)狀態(tài)檢測(cè) | 軟件校準(zhǔn),方便準(zhǔn)確,軟件分析傳感器狀態(tài)是否正常 | |
20 | 超高溫狀態(tài)檢測(cè) | 軟件檢測(cè)出溫度信息出現(xiàn)高溫異常時(shí),切斷主回路 | |
21 |
| 觸摸屏尺寸 | 7"LCD |
22 | 物理指標(biāo) | zui大功率 | 15kw |
23 | 額定電壓 | AC380~400V,50Hz(60Hz定制) | |
24 | 傳感器類型 | S型單鉑銠 | |
25 | 反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸 | Φ100X380mm | |
26 | 式樣有效空間 | 3.5" | |
27 | 真空度 | 4.3×10-3Pa(外配分子泵) | |
28 | 抽氣端口尺寸 | KF16(或Φ8mm寶塔嘴) | |
29 | 供氣口尺寸 | Φ6.35mm雙卡套 | |
30 | 冷卻方式 | 自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) | |
31 | 外形凈尺寸(mm) | 長(zhǎng)920×深520×高480 | |
32 | 重量 | 凈重65kg |