IB-19510CP 離子研磨儀IB-19510CP
- 公司名稱(chēng) 東莞市協(xié)美電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào) IB-19510CP
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2015/7/6 15:17:24
- 訪問(wèn)次數(shù) 1116
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★間歇加工減輕了樣品的損傷。 標(biāo)配的間歇加工模式,可以減輕對(duì)樣品的熱損傷。 | |
★采用新開(kāi)發(fā)的快速離子源 可提供500μm/h(8KV/2小時(shí)的平均值)的研磨速率 ★加工監(jiān)控功能 可通過(guò)CCD相機(jī)實(shí)時(shí)查看截面加工狀態(tài)。 | |
★可以選擇精細(xì)拋光。 快速加工之后,通過(guò)設(shè)定精細(xì)拋光參數(shù)可以減輕離子束對(duì)加工截面表層的損傷。 | |
一般加工模式 | 間歇加工模式 |
產(chǎn)品規(guī)格
離子加速電壓 | 2 ~ 8 kV |
離子束直徑 | 500μm以上(半高寬) |
研磨速率 | 500 μm/h( 2小時(shí)的平均値、加速電壓8 kV、硅換算、邊緣距離100 μm ) |
zui大樣品尺寸 | 11 mm(寬) × 10 mm(長(zhǎng)) × 2 mm(高) |
樣品移動(dòng)范圍 | X軸: ±10mm、Y軸: ±3mm |
樣品旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)范圍 | ±5° |
操作方法 | 觸控屏、165mm顯示器 |
離子束氣源 | 氬氣 |
壓力測(cè)試 | 潘寧規(guī) |
排氣系統(tǒng) | 渦輪分子泵、機(jī)械泵 |
尺寸?重量 | 主機(jī): 545 mm(寬) × 550 mm(長(zhǎng)) × 420 mm(高)、66kg 機(jī)械泵: 150 mm(寬) × 427 mm(長(zhǎng)) × 230 mm(高)、約16 kg |
離子研磨儀IB-19510CP