1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-F3LV

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2024/10/22 8:35:16
訪問(wèn)次數(shù) 2108

產(chǎn)品標(biāo)簽

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

　　合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年，是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異，質(zhì)量可靠，性?xún)r(jià)比高，環(huán)保節(jié)能、返修率低，遠(yuǎn)銷(xiāo)到歐洲，美國(guó)，日本，德國(guó)等許多國(guó)家，廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域，受到客戶(hù)*好評(píng)。

　　科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

展開(kāi)

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動(dòng)球磨機(jī)，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機(jī)，電池制備設(shè)備等

詳細(xì)信息 在線詢(xún)價(jià)

GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，zui高溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

技術(shù)參數(shù)

管式爐結(jié)構(gòu)

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C.
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

加熱元件

1800 grade MoSi2 ( 8根)

zui高工作溫度

1700°C

zui大升溫速率

5°C/min

zui大降溫速率

5°C/min

加熱區(qū)長(zhǎng)度

455mm (18")

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

150(+/-1°C)

溫控系統(tǒng)

一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制，通過(guò)可控硅 SCR
可設(shè)置30段升降溫程序.
控溫儀表操作視頻
帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)

控溫精度

+/-1°C

爐管材質(zhì)和尺寸

99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm length.

密封法蘭

兩個(gè)不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計(jì)，和閥門(mén)
通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr
泄漏率zui大6 mtorr/min

輸入電源

AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：zui大5KW

真空泵和配件

真空泵

一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動(dòng)架內(nèi)
通過(guò)此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr

配件

標(biāo)配的真空配件: 一對(duì)不銹鋼密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個(gè)不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
一個(gè)1000mm長(zhǎng)的KF-25 不銹鋼波紋管和四個(gè)KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
一個(gè)LED數(shù)字式真空顯示計(jì)（測(cè)量范圍： 0.1mtorr ~ 850 torr)
可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）

氣體流量計(jì)