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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐> 雙管滑動快速加熱冷卻爐--OTF-1200X-4-C4LVS

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雙管滑動快速加熱冷卻爐--OTF-1200X-4-C4LVS

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  合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創辦的美國MTI公司與中科院合肥物質科學研究院合資興辦的高新技術企業。主要生產氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發生產上百款不同規格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發等相關實驗室設備。現已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產品設計*、性能優異,質量可靠,性價比高,環保節能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應用于物理、化學、冶金、醫學、新能源材料研發等領域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創新"的經營理念,全力打造材料研發設備的品牌,竭力為科學進步和社會發展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設備等

   OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究,通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。

 

特點:   

1.雙石英管:外管直徑100mm ,懸掛的內管直徑 80. 金屬箔纏繞在內管的外表面上發生CVD反應。
2.雙管的真空密封法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.
3.四通道質量流量計控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機械泵。

5.爐子底部裝有滑軌:爐子可以從一端滑向另一端,從而實現快速升溫和降溫.

技術參數

爐體結構
  • 高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有*的溫度均勻性.
  • 內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
  • 爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.
  • 密封法蘭系統全不銹鋼制作。
電源電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險絲)
加熱溫度
  • zui高溫度: 1100°C
  • 連續溫度: 1000°C
加熱區
  • 加熱區長度: 440mm
  • 恒溫區長度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
  • 選擇:   
  • 雙溫區爐可獲得t 240mm 的恒溫區

 

加熱和冷卻速度zui快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關,  請點擊下圖看出zui快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前,要校準工作溫度和加熱、冷卻速度 )

 
click to enlarge
加熱冷卻
石英管外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
內管:        OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
真空法蘭
  • 一對 SS304不銹鋼法蘭,通過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
  • 爐子底部裝有一對滑軌
  • 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻。
  • 為了得到較快的加熱速度,可以先將爐子預熱,然后滑到放置樣品的位置。
  • 為了獲得較快的冷卻的速度,把爐子滑向另一端,同時將冷卻氣體通入 樣品所在的位置。
左法蘭(點擊放大)右法蘭 (點擊方大)
    
極限真空度: 10^-2 torr (機械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)
可選本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)
溫控儀溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 30 段程序控制。 控溫儀表操作視頻
控溫精度: +/-1°C
混氣系統4路精密質子流量計:數字顯示、氣體流量自動控制.
  • MFC 1范圍:  0~100 sccm
  • MFC 2范圍:  0~200 sccm
  • MFC 3范圍:  0~200 sccm
  • MFC 4范圍:  0~500 sccm
  • 氣路: 4 路
     
  • 流量精度: 0.2%
     
  • 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套
     
  • 一個混氣罐.
     
  • 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。  
     
  • 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量. 請看下圖
     
  • MFC 面板(點擊放大)
真空泵
  • 安裝在移動架底部的機械泵,真空度達 10-3 Torr. 
  • 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 . 
  • 數字真空表安裝在一端的法蘭上.

    選擇: 
    可以配分子泵,真空度達 10-5 Torr     
作為基片用的25um厚的銅箔 
(選配)
生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸(mm)爐體: 550 x 380 x 520
移動架: 600x600x597
凈重300 lb
保修期一年質保期 (耗材:如爐管,“O”型圈,和加熱元件等不在保修范圍內)
認證  CE 認證
 
國家

名稱:一種快速高溫退火爐

編號:ZL-2011-2-0077168.4

尊重創新、鄙視抄襲、侵權必究。

快速加熱冷卻的雙管CVD爐--操作視頻


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