半導體退火爐
參考價 | ¥ 20000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 上海微行爐業有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地 上海
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2017/11/12 14:17:44
- 訪問次數 888
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半導體退火爐技術參數:
爐體結構:雙層莫來石鋼構(不帶水冷或風冷)
加熱區:12" length with 4"X12”恒溫區( +/-5ºC )
石英管和樣品架:
· 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
· 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上,石英材料
· 一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。
· AlN 具有很高的熱導率,所以在樣品放置的區域有很好的溫度均勻性+\- 5°C
真空法蘭:
· 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作,兩個高溫“O”型圈密封
· 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內插式熱偶保證了溫度的準確。
水冷:如果要求通冷卻水.
· 請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20ºC; 水壓 > 25 PSI
· 我們建議采用 循環水制冷器作為冷卻系統(為了節約用水).
· 警告: 這款 RTP 爐在1000ºC ~ 1100ºC下保溫時間不超過 600 秒,否則“ O”圈將被燒融
流量計:范圍: 16 - 160 ml/min
半導體退火爐真空表:
· 數字真空表,測量范圍:10mtorr~800 torr .
· 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。
真空度:
· 用機械泵真空度達 50 mtorr .
· 用分子泵真空度可達 10-4 torr .
溫控儀:
· PID 自動控制,30段程序帶過熱和斷偶保護功能
· 熱偶: 進口K type
· 自整定功能
· 控溫精度: +/- 1°C
· RS485 串口和溫控軟件
zui快升溫速度:
室溫~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec
保修期:電器部分一年質保期 (耗材:如爐管,“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內)