ICP等離子體光譜儀可對(duì)72種金屬元素和部分非金屬元素（如B,P,Si,Se,Te）進(jìn)行分析.廣泛應(yīng)用于稀土分析、貴金屬分析、合金材料、電子產(chǎn)品、石油、化工、商檢、環(huán)保等部門和釹鐵硼、硅、硅鐵、鎢、鉬等領(lǐng)域需要檢測(cè)元素的定量分析及各種高純材料的雜質(zhì)成份分析.儀器性能達(dá)到JJG768-2005A類標(biāo)準(zhǔn)（中華人民共和國國家發(fā)射光譜儀計(jì)量檢定規(guī)程）,綜合性能達(dá)到同類儀器的*水平.

ICP等離子體光譜儀的光學(xué)系統(tǒng)
1，單色儀
       ICP等離子體光譜儀采用焦矩為1米的Czerny Turner單色儀，光柵為高光強(qiáng)、高分辯率、雜散光極低的全息光柵，單色儀的設(shè)計(jì)使其對(duì)溫度和壓力的變化都具有*的穩(wěn)定性，因此這種光學(xué)系統(tǒng)具有優(yōu)異的分析性能。
2，光柵
     使用110mmX80mm大面積的3600刻線/mm的全息光柵，使單色儀的入射光為可利用的較大視角的平行光，提高了光通量，因此提高了穩(wěn)定性和信號(hào)強(qiáng)度。光柵在高分辯率的條件下也可采集到足夠的光，短的測(cè)量時(shí)間即可滿足需要，從而減少了所需測(cè)量的樣品量。由于雜散光極低，顯著提高了S/B，改善了檢出限。
3，分辯率
      光譜儀的分辯率決定了儀器分辯復(fù)雜譜線的能力。高分辨率減少了建立分析方法所需的時(shí)間，有較好的檢出限和較高的準(zhǔn)確度。DGS-Ⅲ的實(shí)際分辯率為：Fe（310.030）<0.007nm。采用3600刻線/mm光柵的光譜范圍為190nm—500nm，可以適用于大部分的光譜分析元素。
 
4，光柵直接驅(qū)動(dòng)
         ICP等離子體光譜儀采用直接驅(qū)動(dòng)光柵的機(jī)械傳動(dòng)方式，計(jì)算機(jī)控制下的自動(dòng)波長參比保證波長的機(jī)械準(zhǔn)確度總是優(yōu)于0.004nm。由于*的重現(xiàn)性,掃描速度很快,全譜范圍掃描只需7秒.光柵轉(zhuǎn)動(dòng)的高速度使得儀器在1分鐘內(nèi)可以分析15個(gè)元素,這意味著節(jié)省氬氣和樣品,分析速度快, 穩(wěn)定性較高。
 
ICP等離子體光譜儀的激發(fā)光源及進(jìn)樣系統(tǒng)
1，激發(fā)光源
DGS-Ⅲ型光譜儀的激發(fā)光源為電子管震蕩電路，具有功率自動(dòng)調(diào)節(jié)和相位自動(dòng)匹配功能,其功率輸出從600W-1200W連續(xù)可調(diào),等離子的微小波動(dòng)可以由自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)補(bǔ)償. 40.68MHZ的等離子發(fā)生器符合國家無線電對(duì)工業(yè)頻率的要求，它安裝在單道掃描儀機(jī)箱內(nèi)部, 構(gòu)成一整體。
2，進(jìn)樣系統(tǒng)
   進(jìn)樣系統(tǒng)采用目前上*的漩流霧室系統(tǒng)，他具有穩(wěn)定性好，清洗速度快等優(yōu)點(diǎn)。使分析速度更快，數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確。該儀器測(cè)量的短期穩(wěn)定性RSD<1.5%，二小時(shí)以上的*穩(wěn)定性RSD<2%。
 
ICP等離子體光譜儀的電子檢測(cè)系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)
    ICP等離子體光譜儀和計(jì)算機(jī)之間的接口是一個(gè)智能微處理系統(tǒng)。它負(fù)責(zé)和計(jì)算機(jī)之間的數(shù)據(jù)通訊、采集數(shù)據(jù)、控制單色儀驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的精確運(yùn)動(dòng)，及提供光電倍增管一組高精度負(fù)高壓穩(wěn)壓電源。
1，電子檢測(cè)系統(tǒng)
線性動(dòng)態(tài)范圍zui高可達(dá)1×108,足以滿足ICP工作曲線校正的需要;
zui小分辯率為2.5×10-10;
PMT電流測(cè)量范圍為：10-12-10-4安培;
高品質(zhì)的電子系統(tǒng)有助降低儀器的分析檢出限和提高精密度。