本系列產品是目前國內外*的可對各種光滑光學元件和金屬表面疵病實現快速、自動化、微米量級分辨率檢測的數字化設備，能夠有效解決目視檢測效率低、準確性差的難題。可應用于光學元件、激光器諧振腔、微光元件、光滑金屬、硅片、液晶屏、手機外殼、微縮文字等各類元件表面疵病的檢測。可檢測表面疵病的類型包括各種劃痕、麻點、污漬、破邊等。通過采用不同行程范圍的掃描裝置，可實現不同大小樣品的檢測，被檢元件口徑zui大可達1000mm×600mm或更大。本系統擁有多項國家發明。

系列產品主要技術指標：

1）檢測樣品zui大口徑：（130mm×130mm）～（1000mm×600mm）； 

2）瑕疵分辨率：優于0.5um； 

3）檢測的疵病幾何特征：各種劃痕、麻點、破邊等、文字缺損校驗；

4）被檢樣品可水平、垂直放置掃描檢測； 

5）軟件及結果輸出：配備“超光滑表面疵病數字化評價系統”軟件，可輸出包含表面瑕疵定位、定量信息   的電子報表；

6）照明及成像系統：特制的無盲點照明系統配備顯微散射暗場成像技術；

7) 評價標準：

  ?標準  ISO10110-7  
  ?美國軍標  MIL-PRF-13830B
  ?同時可以根據客戶要求，對不同的樣品（光學元件表面、金屬元件表面）瑕疵（劃痕、麻點、污漬等）的檢出要求進行圖像處理軟件的研發；

 8）評價方法：采用獲得國家發明的定量評估方法；

 9）對有特殊潔凈要求的檢測配備有專業的凈化臺；

 10）表面瑕疵質量檢測應用范圍：

 DHS-1 型（適合于中小口徑檢測）

 ?各種精密光學元件、激光器諧振腔表面瑕疵；
 ?金屬元件表面瑕疵；
 ?手機屏表面瑕疵。

 DHM-2型、DVL-3 型（可用于大口徑檢測）

 ?大口徑光學平板表面瑕疵；
 ?大口徑硅片表面瑕疵；
 ?各類液晶屏、顯示屏的表面瑕疵。