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CP-4化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備
- 公司名稱 北京華躍英泰科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2017/4/3 1:03:30
- 訪問次數(shù) 556
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CP-4化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備
CP-4是世界zui通用和的臺式化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備(CMP),可以很好的滿足您的研發(fā)需求。*軟件控制,可以對直徑4英寸的晶圓和磁盤進(jìn)行拋光。 CETR-CP-4可檢測原位摩擦力,摩擦系數(shù),溫度,下壓力,磨損,聲發(fā)射等,可以模擬所有的參數(shù),如速度,負(fù)載和流量,來模仿一個(gè)大的CMP系統(tǒng)。
用于化學(xué)機(jī)械拋光的研究和開發(fā)的各個(gè)方面
• 測試和開發(fā)各種不同的微粒,材料,濃度,氧化劑,抑制劑等的拋光液
• 測試和開發(fā)不同的材料,溝槽形狀,尺寸,彈性,壽命等
• 測試和發(fā)展拋光墊調(diào)節(jié)裝置來優(yōu)化拋光墊的損耗率,修整,效率等
• 開發(fā)CMP定位環(huán)材料來優(yōu)化摩擦,磨損,壽命等
• 測試去除率,重復(fù)性缺陷,工藝優(yōu)化等,研究或開發(fā)各種應(yīng)用的各種材料
• 半導(dǎo)體方面 - 銅,Ta, TaN, Al, Si, SiO, Ru, WC, solar cells, PVD, CVD, 薄膜等
• 化合物半導(dǎo)體 - 砷化鎵,銦,磷化物,汞,鎘
• 應(yīng)用生物材料 - 牙,骨,鈦,鋼鐵制品等。
• 光電材料 – LED,藍(lán)寶石,紅外窗口拋光激光材料,顯微鏡頭,微光學(xué),鈮酸鋰,鉭酸鋰,磷酸氧鈦鉀等。
同時(shí)實(shí)時(shí)監(jiān)測及處理
• 通過在晶圓墊和調(diào)節(jié)墊界面處的擁有的傳感器,測量負(fù)載和摩擦力,
• 通過在晶圓墊和調(diào)節(jié)墊界面處的擁有的傳感器和放大器,測量接觸噪聲
• 使用聲波表征的缺陷、劃痕,并在加工過程中分層
• 監(jiān)測流入的拋光液,拋光片表面和流出廢液的溫度 .