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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>AS-Micro 法國ANNEALSYS 快速退火爐(RTP)

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AS-Micro 法國ANNEALSYS 快速退火爐(RTP)

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 北京朗銘潤德光電科技有限公司是從事于半導體和太陽能薄膜電池研發和生產型設備的代理公司,主要代理產品包括:

德國FHR公司:磁控濺射設備、PECVD設備、刻蝕設備、靶材、UPS03氣壓控制系統等。

德國Centrotherm公司:尾氣處理設備。

法國FLOWLINK公司:高純特氣閥門,如隔膜閥、波紋管閥、止回閥等。

法國Annealsys公司:RTP快速熱處理設備、MOCVD設備、LPCVD設備等。

法國MPA公司:提供制備各種特殊材料的CVD設備和工藝。

本公司在向客戶提供*產品的同時,向客戶提供*的服務;為客戶著想,與客戶共求發展,共創雙贏。朗銘值得您的信賴與期待!

Annealsys的RTP快速熱處理、小型MOCVD,Centrotherm的廢氣處理設備,Flowlink高純特氣閥門

低成本3-英寸快速熱處理設備,適用于研發應用

zui高到 1250℃, 250℃/s, 高真空性能

應用:

注入退火

合金接觸

快速熱氧化(RTO)

快速熱氮化(RTN)

致密化和結晶化

硅化

等等

主要特性:

配有無聲風扇冷卻的紅外線鹵素管燈退火爐

配有水冷卻不銹鋼法蘭的石英管腔室

快速PID溫度控制器

熱電偶控制

大氣和真空工藝性能

配有針閥的吹掃氣路

zui多3條氣路,配有數字MFC

配有以太網通訊的PC控制,用于快速數據記錄

可選鍍有SiC石墨基片托,用于2-英寸基片

可選渦輪分子泵和壓力控制

可選配雙腔室用于交叉污染問題

 

 

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