N-6000納米探針檢測系統
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- 公司名稱 日立科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2017/8/23 11:00:20
- 訪問次數 2629
產品標簽
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N-6000納米探針檢測系統 特點
- 適用于90-65-45-(32)nm制造工藝。
- 冷場發射電子槍,在較低加速電壓條件下具有更好的分辨率。
- 確保圖像位移量為±100μm,無需移動樣品臺也可實現寬范圍的檢測。
- 具備雙馬達臺機構-探針馬達臺和樣品馬達臺,操作簡單舒適。
- 的探針頭交換倉,可順暢而迅速地交換探針頭。使操作舒適而直觀。
- 上面和側面兩個CCD攝像頭,用于探針對中。
N-6000納米探針檢測系統 技術指標
項目 | 描述 | |
探針單元 | 探針單元數量 | 6(zui多) |
驅動方法 | 壓電式 | |
精調范圍 | 5μm(X,Y軸) | |
粗調范圍 | 5mm(X,Y軸) | |
探針頭交換 | 氣鎖交換室 | |
樣品臺 | 位置檢測 | 光學線性量規 |
樣品尺寸 | 15mm x 15mm x 1mm 或更薄 | |
行程范圍 | ±7.5 mm(X, Y軸) | |
樣品交換 | 氣鎖樣品交換倉 | |
探針鏡臺 | 行程范圍 | 每個位置 ±5 mm |
行程位置 | 檢測/樣品交換/探針大致對中齊/探針交換 | |
電子光學系統 | 電子槍 | 冷場電子發射源 |
加速電壓 | 0.5 kV - 5 kV(EBAC模式(*):zui大30 kV) | |
圖像位移 | ±100μm 或更長(2 kV,WD=15 mm) | |
EBAC放大器(*) | 電流放大器,差分放器 | |
圖像顯示 | 掃描電子顯微鏡/ EBAC(*)(單一/平行/覆蓋),上面和側面CCD攝像頭 | |
真空系統 | 自動系統 | |
顯示器 | 液晶顯示器 |
外形尺寸和重量
項目 | (W)x(D)x(H) | 重量 |
鏡筒單元 | 1,190 x 1,377 x 1,605mm | 780kg |
顯示單元 | 1,000 x 960 x 1,200mm | 205kg |
EBAC單元(*) | 600 x 1,000 x 1,760mm | 150kg |
安裝條件
項目 | 描述 | |
室溫 | 15~25 | |
濕度 | 60% RH(相對濕度)或更低 | |
電源 | 單相 AC100V±10%, 5kVA | |
接地 | D級(100 或更小) |
(*):選購件
可選購附件
- 高分辨率修正
- 樣品加熱臺
- 機械卡盤架
- 單元計數功能
- CAD導航系統(故障分析導航系統)