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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>掃描探針顯微鏡SPM(原子力顯微鏡AFM)> N-6000納米探針檢測系統

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N-6000納米探針檢測系統

具體成交價以合同協議為準

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  日立高新技術集團的企業理念是“以成為先端技術領域里提供高科技解決方案的*為目標”。在這個理念的指引下,將電子裝置系統、生命科學系統、信息電子系統、*產業材料系統等各個事業部門的“先端技術”推向世界的Z前線。

  為了應對日新月異的技術革新和需求的多樣化,達成事業的化,日立高新技術集團同時具有用先端技術開發制造新產品的制造功能和向提供優化解決方案的貿易公司機能,是一家在先端科技領域里向*更快、更好地提供產品和服務的性企業。

  日立高新技術集團Z重視的是在中國地區的事業戰略。我們在上海、北京、深圳、香港設立了獨資公司,這些地方分公司在中國的11個地區設有銷售和技術服務網點。同時在蘇州和大連還設有生產基地。日立高新技術集團不但支持中國電子產業和高科技產業發展的半導體制造,而且提供各種解析設備,LCD制造和檢查設備,芯片貼裝設備等。在保障人民安全和健康的科學醫療領域,還提供各種解析、分析儀器及應用相關系統等*開發產品和相應的優質且完善的售后服務。此外,日立高新技術集團從中國各地向*提供支持電子、高科技、汽車產業、環境和節能技術的各種新功能材料的采購解決方案,通過靈活利用網絡和其貿易公司功能,實現創造附加價值的事業模式。

  日立高新技術中國實業集團作為被大家所信賴的企業,在遵紀守法的同時,力爭創造新的價值,以“客戶*位為根本”開展工作,探求持續性發展,通過營銷活動為中國的高科技產業、環境及能源事業、社會基礎設施的安全、人民健康等方面的發展,不斷地做著積極的貢獻。衷心希望今后也能夠繼續得到大家的支持和厚愛。

熒光光譜,質譜,液相色譜

N-6000納米探針檢測系統 特點

  • 適用于90-65-45-(32)nm制造工藝。
  • 冷場發射電子槍,在較低加速電壓條件下具有更好的分辨率。
  • 確保圖像位移量為±100μm,無需移動樣品臺也可實現寬范圍的檢測。
  • 具備雙馬達臺機構-探針馬達臺和樣品馬達臺,操作簡單舒適。
  • 的探針頭交換倉,可順暢而迅速地交換探針頭。使操作舒適而直觀。
  • 上面和側面兩個CCD攝像頭,用于探針對中。
     

N-6000納米探針檢測系統 技術指標

項目

描述

探針單元

探針單元數量

6(zui多)

驅動方法

壓電式

精調范圍

5μm(X,Y軸)

粗調范圍

5mm(X,Y軸)

探針頭交換

氣鎖交換室

樣品臺
(DUT臺)

位置檢測

光學線性量規

樣品尺寸

15mm x 15mm x 1mm 或更薄

行程范圍

±7.5 mm(X, Y軸)

樣品交換

氣鎖樣品交換倉

探針鏡臺
(基礎鏡臺)

行程范圍

每個位置 ±5 mm

行程位置

檢測/樣品交換/探針大致對中齊/探針交換

電子光學系統

電子槍

冷場電子發射源

加速電壓

0.5 kV - 5 kV(EBAC模式(*):zui大30 kV)

圖像位移

±100μm 或更長(2 kV,WD=15 mm)

EBAC放大器(*)

電流放大器,差分放器

圖像顯示

掃描電子顯微鏡/ EBAC(*)(單一/平行/覆蓋),上面和側面CCD攝像頭

真空系統

自動系統

顯示器

液晶顯示器


 

外形尺寸和重量

項目

(W)x(D)x(H)

重量

鏡筒單元1,190 x 1,377 x 1,605mm780kg
顯示單元1,000 x 960 x 1,200mm205kg
EBAC單元(*)600 x 1,000 x 1,760mm150kg

安裝條件

項目

描述

室溫15~25deg.
濕度60% RH(相對濕度)或更低
電源單相 AC100V±10%, 5kVA
接地D級(100ohm 或更小)


(*):選購件
 

可選購附件

  • 高分辨率修正
  • 樣品加熱臺
  • 機械卡盤架
  • 單元計數功能
  • CAD導航系統(故障分析導航系統)


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