FB2200聚焦離子束系統(tǒng)
- 公司名稱 日立科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2017/8/15 14:52:02
- 訪問次數(shù) 1952
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FB2200聚焦離子束系統(tǒng) 超薄樣品制備附件
該附件用于制備STEM,TEM等觀察用的超薄樣品,它是在FIB真空樣品倉內(nèi)通過離子束定點(diǎn)切割晶圓的目標(biāo)位置,并用操縱器將超薄樣品提出來的一種系統(tǒng)。使用該附件可以大大提高樣品制備的位置精度,同時(shí)樣品制備時(shí)間也縮短到半小時(shí)以內(nèi)。(該技術(shù)已經(jīng)在日本和美國(guó)申請(qǐng)了)。
三維分析樣品桿 聚焦離子束系統(tǒng)
使用該旋轉(zhuǎn)樣品桿可在STEM和FIB上觀察用FIB系統(tǒng)加工出來的微小柱狀樣品。,該三維旋轉(zhuǎn)樣品桿可有效適用于小型化電子設(shè)備三維結(jié)構(gòu)評(píng)估以及立體故障分析。
CAD導(dǎo)航系統(tǒng)
故障分析導(dǎo)航系統(tǒng)(NASFA)
該導(dǎo)航系統(tǒng)可以將CAD數(shù)據(jù)的布線和大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)圖形和FIB的觀察圖像相對(duì)應(yīng)起來。當(dāng)CAD系統(tǒng)中的坐標(biāo)位置,樣品臺(tái)就會(huì)通過鏈接移動(dòng)到相應(yīng)位置,就可以獲得相應(yīng)位置的SIM圖像。同時(shí),CAD數(shù)據(jù)和SIM圖像也可以重疊顯示。因此,很容易檢查到下層布線的狀態(tài),實(shí)質(zhì)上提高了分析的效率,有利于進(jìn)一步進(jìn)行修理工作。
聚焦離子束系統(tǒng)