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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>少子壽命測試儀> 單(多)晶硅少子壽命測試儀

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單(多)晶硅少子壽命測試儀

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粗糙度測量儀,粗糙度儀,三坐標測量機,影像測量儀,工具顯微鏡,輪廓儀,拉力試驗機,壓力試驗機

產地類別 國產

 

單(多)晶少子壽命測試儀 

 

型號LT-2

LT-2型單晶少子壽命測試儀是參考美國A.S.T.M標準而設計的用于測量硅單晶的非平衡少數載流子壽命。半導體材料的少數載流子壽命測量,是半導體的常規測試項目之一。本儀器靈敏度較高,配備有紅外光源,可測量包括集成電路級硅單晶在內的各種類型硅單(多)晶,以及經熱處理后壽命驟降的硅單晶、多晶磷檢棒的壽命測量等。

本儀器根據通用方法高頻光電導衰退法的原理設計,由穩壓電源、高頻源、檢波放大器,特制的InGaAsp/InP紅外光源及樣品臺共五部份組成。采用印刷電路和高頻接插連接。整機結構緊湊、測量數據可靠。

技 術 指 標:

測試單晶電阻率范圍>2Ω.cm

可測單晶少子壽命范圍5μS~7000μS

配備光源類型波長:1.09μm;余輝<1μS;

閃光頻率為:20~30次/秒;

閃光頻率為:20~30次/秒;

高頻振蕩源用石英諧振器,振蕩頻率:30MHz

前置放大器放大倍數約25,頻寬2Hz-1MHz

儀器測量重復誤差<±20%

測量方式采用對標準曲線讀數方式

儀器消耗功率<25W

儀器工作條件溫度:10-35℃、濕度<80%、使用電源:AC220V,50Hz

可測單晶尺寸斷面豎測:φ25mm—150mm;L2mm—500mm;

縱向臥測:φ25mm—150mm;L50mm—800mm;

配用示波器頻寬0—20MHz;

電壓靈敏:10mV/cm。

 

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