【設備特點】

1、精確溫濕度調控：確保曝光機、顯影/ 涂布設備等制程良率

2、定制化風量設計：根據客戶的具體需求，定制風量，送風單元結構均勻布置，確?？諝饬魍ǖ木鶆蛐?，進一步提升制程質量。

3、超準溫度控制：溫度控制精度高達±0.01℃，遠超行業標準，為產線環境提供了穩定性，從而確保了產品的優良率。

【產品應用】

1、溫度控制精度：±0.1℃~±0.01℃

2、濕度控制精度：±2%RH~±1%RH

3、廣泛適用領域：該設備廣泛應用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠等精密溫濕度控制領域，助力企業提升產品質量，確保生產過程的穩定與高效。