真空泵是一個量大面廣的產品，目前國內產量很大，產值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的*的基礎產品。

　　高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵。

　　中真空——干泵、渦旋泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。

　　粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復式真空泵。

　　真空泵的市場根據用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。

　　通過對真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發(fā)展。

　　我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎，國產真空泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應該說我國真空泵制造業(yè)在國內外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。

　　1、水環(huán)真空泵：雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領域仍然有著很大的市場。

　　在國外，水環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，所以國外廠商都在我國投資建廠或建立銷售網絡，不斷擴大在我國的*。

　　由于水環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產品，所以國產水環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提率，降低能耗。

　　2、滑閥泵：是油封式真空泵的一種。由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。

　　為了使國產滑閥泵能夠進入市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。

　　3、直聯旋片泵：隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。

　　國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產泵仍然有競爭優(yōu)勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠，同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。

　　4、羅茨真空泵：從國外羅茨真空泵生產情況來看，國外幾家大公司羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。

　　目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入市場，這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲，*解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度。

　　另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。

　　5、分子泵：在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。

　　由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。

　　為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。

　　這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。

　　6、干式機械真空泵：國外干式機械真空泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產業(yè)的迅速發(fā)展。

　　在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。

　　為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦旋式無油真空泵等。

　　極限壓力從10Pa～10-2 Pa，抽速從0.03m3/h～500m3/h。據統(tǒng)計，目前國產干泵的應用還不足1%，國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。

　　所以，我國應大力研究開發(fā)干泵，特別是渦旋式無油干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經濟增長點。

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