基于25年涂鍍層測量經驗,在CMI900系列測厚儀的堅實基礎上,引進全新的設計:
- 新100瓦X射線管 - 市場上所能提供的zui強大的X射線管。提高30%測量精度,同時減少50%測量時間
- 更小的X射線光斑尺寸 - 新增15mil直徑準直器,可測量電子器件上更小的部位。提供改進的CCD攝像頭及縮放裝置,同時提供更高精度的Y軸控制。
- 距離獨立測量(DIM) - 更靈活地特殊形狀樣品,可在DIM范圍內12.5-90mm(0.5-3.5inch)對樣品表面進行測量,Z軸可控制范圍為230mm(9inch)。可通過手動調整也可以通過自動鐳射聚焦來實現對樣品的精確對準。
- 自動鐳射聚焦 - 自動尋找振決的聚焦距離,改善DIM的聚焦過程并提高系統測量再現性。也可選擇標準的鐳射聚焦模式。
- 全新的大型樣品室 - 更大的開槽式樣品室(580x510x230mm : 23x20x9inch),開槽式設計可容納超大尺寸的樣品。可從各個方向簡便的裝載和觀察樣品。
- 3種樣品臺選項 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移動范圍)/XY手動控制(250x250mm或10x10英寸)/固定樣品臺;標準配置Z軸程控控制(230mm或9inch移動范圍)。
- 內置PC用戶界面
請點擊左邊相關標題,下載關于該產品的PDF格式文件。
|