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日本進口ULVAC愛發科羅茨泵密閉式電機

PRC系列是機械增壓泵，主要設計用于對清潔度要求特別高的半導體和液晶制造工藝。
采用封閉式電機，軸封不會漏油。也可選擇大氣壓驅動型。

特征

使用示例	類型（種類）	適用型號	表面處理	油
通過空氣或惰性氣體排氣表面處理提高抗異物能力	標準	PRC-003A、PRC-006A、 PRC-012A、PRC-018A	○ ^*1	R-42 礦物油
當您想抑制空氣或惰性氣體排氣水分吸附對極限壓力的影響時	X	PRC-003A-X、PRC-006A-X、 PRC-012A-X、PRC-018A-X	?	R-42 礦物油
表面處理可防止油因腐蝕性氣體、可燃氣體和氧化性氣體而劣化，從而提高抗異物強度	F	PRC-003A-F、PRC-006A-F、 PRC-012A-F、PRC-018A-F	○	J25F ^*2 氟油

*1 如果進行表面處理，排氣時間可能會受到吸濕釋放氣體的影響。
*2 組裝檢查將使用氟油進行，但不包括在內。如有需要，將另行安排。

規格

型號*1			PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A
最大抽速		50赫茲	280 立方米^/小時（4670 升/分鐘）	500立方米^/小時（8330升/分鐘）	1000立方米^/小時（16700升/分鐘）	1500立方米^/小時（25000升/分鐘）
		60赫茲	330立方米^/小時（5500升/分鐘）	600立方米^/小時（10000升/分鐘）	1200立方米^/小時（20000升/分鐘）	1800立方米^/小時（30000升/分鐘）
最大吸氣壓力		50赫茲	1.2 × ^103帕	1.3× ¹⁰³帕		1.2 × ^103帕
		60赫茲	9.3 × ^102帕	1.1 × ^103帕		9.3 × ^102帕
最大允許壓差		50赫茲	4.0 × ^103Pa	7.3 × ^103帕		4.3 × ^103帕
		60赫茲	3.3× ¹⁰³帕	6.0 × ^103Pa		3.2 × ^103帕
極限壓力*2			4.0 × ^10-1Pa		6.7 × ^10-1Pa
可驅動壓力			~1.0 x 10 ⁵ Pa（大氣壓驅動型）
電機*3	格式		屏蔽式三相異步電動機
	高效率等級		-
	輸出		0.75千瓦（2極）	2.2千瓦（2極）	3.7千瓦（2極）	5.5千瓦（2極）
	電壓（200V級電機）	50赫茲	200V
		60赫茲	200/220V
使用油*4			ULVOIL R-42
所需油量			0.7升	1.5升	1.9升
冷卻方式			水冷
冷卻水	一次壓力		0.3兆帕
	入口/出口壓差		0.01MPa以上
	冷卻水量		2升/分鐘		3升/分鐘
	冷卻水溫度*5		5～30℃
進氣直徑 JIS-B-2290			相當于VG80		相當于VG100	相當于VG150
排氣直徑 JIS-B-2290			相當于VF80			相當于VF100
外形尺寸W×D×H *6			296×575×260毫米	356×619×320毫米	406×759×340毫米	406×989×340毫米
大量的			51公斤	86公斤	118公斤	150公斤
標準輔助泵			VD60C	VD90C	VS2401	VS2401
標準配件			1 本使用說明書、1 單位油

注）本規格表采用SI單位制。非 SI 單位的換算如下。
　　4.0×10 ^-1 帕 = 3.0× 10 ^-3托

*1 標準產品經過表面處理（陽極氧化涂層）。您也可以選擇不進行表面處理。
*2 用皮拉尼真空計測量（輔助泵和使用的油是標準的）。
*3 不兼容隔爆和防爆結構。
*4 可選擇氟油（J25F）。
*5 請在無結露的環境下使用。
*6 對于其他尺寸，請檢查我們網站上發布的 CAD 數據。