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日本Anelva寬量程電離真空計控制電源測壓力 M-431HG 特點介紹
M-431HG是一款微型真空計專用真空計控制電源。
自動化真空設備中的壓力測量
濺射等工藝壓力的測量和控制
多室系統中的壓力測量
通用真空設備壓力測量
標準配備外部輸入/輸出和RS-232C通信功能
輸入電壓為寬電壓
日本Anelva寬量程電離真空計控制電源測壓力 M-431HG 規格參數
型號名稱M-431HG
壓力顯示范圍0.01×10 -7 ～ 13.2×10 0 Pa *1
壓力顯示數字化、自動測量范圍切換
設定點2點標準裝備（帶遲滯）
數模輸出對數或復合輸出切換（0 至 10 V）
模擬輸出0 至 10 V（APC 兼容輸出）
外部控制功能
（遠程操作）輸入 燈絲開/關、參數鎖定、
燈絲切換、脫氣開/關、范圍保持
輸出 設定點 1、2、燈絲開/關狀態、
脫氣狀態、燈絲 1/2 狀態
通訊功能標準配備RS232C（9600、4800、2400、1200bps）
外形尺寸(mm)/質量104寬×99高×296深 1.2公斤
能量消耗50 VA AC90 至 240 V 50/60 Hz *2
發射電流10μA、100μA、1mA（自動切換或固定）
排氣柵極通電加熱方式，3分鐘通電定時器
燈絲開關按鍵和遠程 I/O 操作
燈絲保護13.3×10 0 Pa時燈絲關閉
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