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日本shibaura皮拉尼壓力計高耐腐蝕性半導體 GPW 系列

廣域測量：可測量大氣壓至5×10 -2 Pa的廣域
節省布線：集成傳感器和控制器可減少布線、空間和功耗。
提高可視性：配備 LED，可讓您檢查異常情況
可一鍵式調整：可一鍵式進行氣壓調整和零點調整。
可維護性：易于更換探頭
燈絲材料：鉑(Pt)：燈絲材料采用具有高耐腐蝕性的鉑。
測量值輸出信號：壓力0～10V的對數輸出為標準配置。

日本shibaura皮拉尼壓力計高耐腐蝕性半導體 GPW 系列特點介紹

廣域測量：可測量大氣壓至5×10 -2 Pa的廣域

節省布線：集成傳感器和控制器可減少布線、空間和功耗。

提高可視性：配備 LED，可讓您檢查異常情況

可一鍵式調整：可一鍵式進行氣壓調整和零點調整。

可維護性：易于更換探頭

燈絲材料：鉑(Pt)：燈絲材料采用具有高耐腐蝕性的鉑。

測量值輸出信號：壓力0～10V的對數輸出為標準配置。

提高抗沖擊性：具有高抗沖擊性的設計結構

控制輸出信號：可輸出兩個設定點（GPW-1）

串行通訊規格：可進行RS-232C/RS-485通訊（僅限GPW-2）

用于太陽能電池、FPD、半導體和電子元件等各種制造設備的低真空區域的過程控制。

用于熔爐等各種工業設備低真空區域的過程控制

用于直列式、單晶圓式等具有多個處理室的各種制造設備的低真空區域的過程控制。

日本shibaura皮拉尼壓力計高耐腐蝕性半導體 GPW 系列規格參數

模型GPW-1GPW-2

可連接探頭一

自適應探頭SWP-16 (NW-16)

測量壓力范圍5.0×10 -2 ~ 1.0×10 5 Pa

測量精度*1 × 10 -1～ 1 × ×10 4 Pa ：± 10 %

5.0 × 10 -2～ 1.0 × 10 -1 Pa、1 × 10 4 Pa ～ 1 × 10 5 Pa ： ± 20 %

重復性1×10 -1 Pa～1×10 4 Pa：±2%

采樣時間50 ms 5次移動平均處理

測量值輸出輸出電壓直流0-10V

壓力指示（日志輸出）1.7 V 至 8.0 V，1V/位

更新時間50毫秒

控制輸入信號集電極開路輸入、負邏輯

ADJ調節（零點調節、大氣壓調節） -

控制輸出信號集電極開路輸出

負邏輯 [額定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW]

錯誤信號

設定點 1、2 -

設定點監視器設定點 1、2：0 至 10 V 日志輸出 -

串行通訊規格- RS232C/RS485

LED顯示屏電源/錯誤：電源、錯誤 LED

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