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當前位置:深圳秋山工業設備有限公司>>過程控制儀器>>壓力控制器>> L62SS/L62SH日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 3千-6千 |
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應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 特點介紹
L62系列是專為高壓、大流量半導體工藝生產氣體設計的產品,其基本結構為外部金屬密封和焊接接頭,具有優異的外泄漏和顆粒性能。該產品增加了流量,是氣瓶柜的理想選擇。
我們的L61系列的針結構類型(面對面尺寸相同)。
可根據使用氣體選擇閥座材料。
日本YUTAKA高壓大流量氣壓計控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 規格參數
適用氣體 高純氣體
入口壓力 14.8MPa以下(最大19.6MPa)
調節壓力 Max.0.8MPa
(范圍規格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa)
氣源壓力波動 進口壓力:每0.1MPa,調節壓力變化0.001MPa以下
承受壓力 22.2MPa(進口壓力)
CV值 0.11
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內部容積 32.3cm(不含3個壓力表及接頭)
大量的 約4.7公斤
■ 類型:L62 SS-CO 是專門針對一氧化碳(CO)氣體而選擇的材料。
請不要與其他氣體一起使用。
■ 類型:L62 SS-I 是使用氦氣 (He) 或氫氣 (H2) 時的理想選擇。
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