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貨物所在地:北京北京市
更新時(shí)間:2024-10-23 08:55:39
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壓電·三軸并聯(lián) Free3D.ZTxTy.150
? 3自由度并聯(lián)設(shè)計(jì),空間中ZTT移動(dòng)
• 由納米級(jí)驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),有效降低累積誤差;
• 多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高;
• 平動(dòng)行程:Z ±5 mm;
• 主體材料:鋁合金;
• 角擺行程:ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °;
• 最大垂直負(fù)載:3 kg;
• 單向重復(fù)定位精度Z:±0.15 μm;
• 單向重復(fù)定位精度ΘX, ΘY:±2.5 μrad, ±2.5 μrad;
• 最小位移Z:25 nm;
• 最小位移ΘX, ΘY:7.5 μrad, 7.5 μrad;
• 速度:1 mm/s - 10 mm/s;
• 重量:1.5 kg;
• 可提供真空環(huán)境規(guī)格;
• 集成傳感器:光學(xué)編碼器;
• 位置傳感分辨率:2 nm;
• 控制軟件:提供PC端使用軟件;
• 控制器通道:3通道輸出控制;
• 控制方式:根據(jù)用戶(hù)輸入的位移指令,實(shí)現(xiàn)對(duì)位移臺(tái)三軸空間姿態(tài)的運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié);各驅(qū)動(dòng)單元模塊通過(guò)光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;通過(guò)專(zhuān)用軟件,實(shí)現(xiàn)對(duì)三軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)的解算,分配到各驅(qū)動(dòng)單元模塊,實(shí)現(xiàn)三軸空間姿態(tài)的同時(shí)調(diào)節(jié)
壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái),三自由度,ZTT移動(dòng)——詳細(xì)參數(shù):
壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái),三自由度,ZTT移動(dòng)——尺寸圖:
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