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今日推薦KAKUHUNTER寫真化學成像膜厚計
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這是一種膜厚計,可以利用顯微圖像光譜法將透明多層膜的膜厚分布可視化。
由于使用光學干涉法計算膜厚,因此可以
以0.1nm以下的分辨率以3D方式顯示膜厚分布。
測量顯微鏡視野內任何區域的
膜厚和膜質量分布,并以 3D 形式顯示分布
分辨率相當于可見光波長干膜測厚儀
波長范圍從 450nm 到 750nm 可以以 1nm 增量
使用與反射膜厚度監視器相同的計算引擎進行并行計算
應用實例
① 數百層重復層壓薄膜、溝槽等復合結構。
② 使用 EMA(有效介質近似)法估算亞微米圖案的密度
③ 局部結晶度評價
您可以根據工作和應用選擇物鏡。
我想輕松測量透明多層薄膜每一層的厚度。
我想自動測量多個點的薄膜厚度。
我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。
我想測量半透明板的厚度。