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產品簡介
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 1萬-2萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 環保,化工,電子,制藥,電氣 |
該型號使用Ni絲來提高耐腐蝕性,并與RIE和CVD等硬工藝設備兼容。
產品介紹
新品Canon anelva佳能皮拉尼真空計M-351PG-SP
新品Canon anelva佳能皮拉尼真空計M-351PG-SP
特征:
采用Ni絲提高耐腐蝕性等。重現性好、價格低
大氣壓從5×10 -2 Pa
半導體、電子器件制造設備、
干式蝕刻設備、等離子體CVD設備、LD-CVD設備等食品藥品制造設備
真空冷凍干燥、真空蒸餾設備、滅菌設備等。
型號名稱 | M-351PG-SP (鎳絲規格)(帶設定點型) |
---|---|
測量壓力范圍 | 5×10 -2 ~ 1×10 5 (Pa) |
精度(帕) | ±50%:5×10 -2 ~ 1×10 -1 ±15%:1×10 -1 ~ 1×10 4 ±50%:1×10 4 ~ 1×10 5 |
再現性 | ±2%:1×10 -1 ~ 1×10 4 Pa |
輸入電壓 | 直流+14~30V |
功耗 | 2W |
模擬輸出 | 0-10V |
表計識別電阻值 | 13 KΩ(D-sub 引腳 5 和 9 之間) |
設定點 | 2 個接點輸出(1 A 30 V,DC) |
界面 | - |
輸入/輸出連接器 | D-sub9針 |
最大電纜長度 | 兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1 |
工作溫度范圍 | 5~60℃ |
儲存溫度范圍 | -20 至 70°C(非工作) |
烘烤溫度 | <+150 ℃(O型圈規格,僅測頭) <+300 ℃(金屬密封規格,僅測頭) |
允許過載壓力 | 1 MPa(僅限于接頭形狀NPT、僅限于惰性氣體、絕對壓力) |
兼容的皮拉尼傳感器型號名稱 | MP-2 |
法蘭形狀 | NW16、NW25、1/8NPT |
傳感器材料(主要部分) | 皮拉尼燈絲:鎳 傳感器管:不銹鋼 引入端子絕緣:Kovar 玻璃 + Al 2 O 3涂層 |
一致 | CE 標志、RoHS、IP40 |
*1) 連接 M-601/603GC 顯示器時,最大規格電纜長度為 100m。