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濺射薄膜高溫壓力變送器,就是采用濺射薄膜壓力芯體,不銹鋼焊接封裝結構,高穩定性好、準確度高、耐沖擊、抗振動,主要用于高溫工業現場和工程環境設備應用。
濺射薄膜高溫壓力變送器的優點是承受壓力高,可以工作在300MPa甚至可以更改高,,耐壓和破裂壓力高。相對同樣耐壓產品,具備更低成本優勢。
濺射薄膜高溫壓力變送器,是采用離子束濺射和刻蝕技術,在不銹鋼彈性膜片上制作薄膜電阻構成惠斯通電橋,流體壓力作用在不銹鋼彈性膜片上,使之產生形變,引起電阻值變化,電橋輸出與壓力成比例的電信號,通過一系列的信號處理和誤差修正,轉換為標準的電信號輸出,從而實現對壓力的測量。
濺射膜壓力傳感器制作中的一些關鍵技術包括:彈性膜片的材料及加工、濺射薄膜制備技術、光刻和激光調阻技術、產品穩定性技術(包括彈性體應力、薄膜內應力、產品裝配應力提前加速去除、薄膜晶格及結構缺陷穩定性處理等),這些都是制濺射膜壓力傳感器大批量低成本生產的瓶頸。
應用:
(1):發動機、采油機、熱電機組、汽輪機、水輪機、機車制動系統。
(2):油田油井儀器、油田測井儀器、井下儀器、井上平臺。
(3):實驗室壓力效驗、流量調節系統、能源管理系統。
(4):液壓機、試驗機、起重機液壓系統、油缸油壓。
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