運(yùn)輸需要注意什么？

運(yùn)輸是半導(dǎo)體制造過程中極為關(guān)鍵和敏感的一環(huán)。在運(yùn)輸過程中，需要注意以下幾點(diǎn)：

1、靜電防護(hù)

非常容易受到靜電的干擾，因此在運(yùn)輸過程中需要遵守嚴(yán)格的靜電防護(hù)措施。使用適當(dāng)?shù)撵o電防護(hù)包裝材料和避免靜電產(chǎn)生的行為，如使用導(dǎo)電鞋墊和穿戴適當(dāng)?shù)姆漓o電服裝。

2、真空環(huán)境

在運(yùn)輸過程中需要處于潔凈和真空的環(huán)境中，以防止灰塵和污染物對晶圓的影響。運(yùn)輸過程中應(yīng)使用密封良好的容器和避免碰撞或振動。

3、溫度和濕度控制

對溫度和濕度變化非常敏感，因此在運(yùn)輸過程中需要嚴(yán)格控制這些參數(shù)。使用恒溫恒濕的運(yùn)輸設(shè)備和確保適當(dāng)?shù)臏貪穸确秶苑乐咕A受損或質(zhì)量受影響。

4、防震和防震

是非常脆弱和易碎的，需要避免碰撞和震動。在運(yùn)輸過程中，應(yīng)使用適當(dāng)?shù)姆勒鸢b和避免粗暴的操作，以保護(hù)晶圓的完整性。

5、運(yùn)輸記錄和追蹤

為了確保晶圓的運(yùn)輸過程可追蹤和監(jiān)控，應(yīng)使用適當(dāng)?shù)倪\(yùn)輸記錄和追蹤系統(tǒng)。這將有助于追蹤晶圓的位置和狀態(tài)，以及及時(shí)處理任何潛在的問題。

因此運(yùn)輸需要非常嚴(yán)格的控制和保護(hù)措施，以確保晶圓的質(zhì)量和完整性不受損害。