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安捷倫科技(中國(guó))有限公司

PRODUCT DISPLAY

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Turbo-V 2K-G 分子泵

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):

品       牌:Agilent/安捷倫

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:北京市

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更新時(shí)間:2023-05-28 17:09:42瀏覽次數(shù):305次

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工
Turbo-V 2K-G 分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng),抽速可達(dá) 1600L/s。Turbo-V 2K-G 專為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì),尤其可用作薄膜沉積設(shè)備的渦輪分子泵。其葉片級(jí)數(shù)和整個(gè)泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化,能夠在高溫負(fù)載和極高氬氣流下工作。

這款泵設(shè)計(jì)堅(jiān)固,適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用,包括太陽(yáng)能板和平板顯示器制造。Turbo-V 2K-G 的可靠設(shè)計(jì)和先進(jìn)的電子集成解決方案,

Turbo-V 2K-G 分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng),抽速可達(dá) 1600L/s。Turbo-V 2K-G 專為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì),尤其可用作薄膜沉積設(shè)備的渦輪分子泵。其葉片級(jí)數(shù)和整個(gè)泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化,能夠在高溫負(fù)載和很高氬氣流下工作。

這款Turbo-V 2K-G 分子泵設(shè)計(jì)堅(jiān)固,適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用,包括太陽(yáng)能板和平板顯示器制造。Turbo-V 2K-G 的可靠設(shè)計(jì)和先進(jìn)的電子集成解決方案,使其成為真空鍍膜行業(yè)的最佳分子泵解決方案。

特性


  • 專為薄膜沉積應(yīng)用而設(shè)計(jì)的分子泵解決方案

  • 經(jīng)優(yōu)化適用于很的氬氣流量

  • 集成式泵和控制器可安裝在任何位置,操作簡(jiǎn)單,占地面積小

  • 支持高氣體流速,能夠使用 DN 250 實(shí)現(xiàn)高通量應(yīng)用

  • 耐用設(shè)計(jì)、高效運(yùn)行的冷卻系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行

  • 氣體吹掃可保護(hù)泵軸承,在存在系統(tǒng)污染物和微粒的情況下可實(shí)現(xiàn)無(wú)縫運(yùn)行

  • 低噪音,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生任何影響

  • 免維護(hù)軸承,零運(yùn)行成本

  • 通過(guò) Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無(wú)線控制,以便隨時(shí)隨地進(jìn)行泵操作并可選配 Profibus

  • 通用電子接口,包括模擬 I/O 信號(hào)和 RS232/RS485,用于通過(guò) A-Plus 軟件實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制


性能指標(biāo)


N2 壓縮比
  • 3 x 105

前級(jí)管道法蘭尺寸
  • KF 40 NW

前級(jí)耐壓 — N2
  • 3 mbar

啟動(dòng)時(shí)間
  • < 7 min

工作位置
  • 任意

建議采用的前級(jí)泵容量
  • 40 m3/h

抽速 — Ar
  • 1400 L/s

抽速 — N2
  • 1600 L/s

操作環(huán)境溫度
  • +5 to +40 °C

極限真空
  • <1 x 10–8 mbar

標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證
  • EN 55011(無(wú)線電干擾特性)
    EN 61000-3-2(諧波電流發(fā)射限值)
    EN 61000-3-3(電壓變化、電壓波動(dòng)和閃爍的限制)
    EN 61000-6-2 和 EN 61326(工業(yè)環(huán)境的抗擾度)檢查:
    EN 61000-4-2(靜電放電現(xiàn)象)
    EN 61000-4-3(高頻輻射現(xiàn)象)
    EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6(高頻導(dǎo)電現(xiàn)象)
    EN 61000-4-11(電壓波動(dòng)、電壓暫降和短時(shí)中斷)

法蘭類型
  • DN 250 ISO-F

貯存環(huán)境溫度
  • -20 至 +70 °C

重量
  • 35 kg

額定轉(zhuǎn)速
  • 33000 rpm(驅(qū)動(dòng)頻率 550 Hz)




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