首頁 >> 供求商機
貨物所在地：廣東深圳市
所在地： 深圳
更新時間：2024-11-13 17:04:54
瀏覽次數(shù)：7
在線詢價收藏產(chǎn)品( 聯(lián)系我們，請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝！）
產(chǎn)品介紹
工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計，靈活適應(yīng)各類安裝空間。
產(chǎn)品特點
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微粒混入，幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計
6