產品簡介
隨著快速數據采集和數據處理技術的發展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數據質量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。
詳細介紹
日立冷場掃描電鏡SU8600高分辨率電子顯微鏡
在細微結構分析中,SU8600可以實現低加速電壓觀察,對高分子等易受電子束照射影響的材料進行高分辨觀察。該系列產品的特點如下:
1.支持自動獲取數據
在FE-SEM的觀察和分析中,需要根據測量樣品與需求調整觀察條件。調整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度,這是造成數據質量與效率差異的因素之一。此系列產品標配自動調整功能,可避免人為操作導致的差異。
此外,隨著儀器性能的提升,需要獲取的數據種類與數量也在增加,手動獲取各種大量數據會大大增加用戶的作業負擔。此系列產品可選配“EM Flow Creator",用戶可根據自身需求設定條件,自動獲取數據,這對于未來通過獲取大量數據實現數據驅動開發起到重要作用。
2.增加獲取信息的種類與數量
通過SEM能夠收集到多種信號,且此系列產品*多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數的同時能夠獲取多種信息。
此外,為一次性獲取大量信息,像素擴展到了40,960 x 30,720(選配),是之前型號的64倍。利用這一功能,可憑借一張數據圖像有效評估多處局部的細微結構。
3.增強信號檢測能力
日立冷場掃描電鏡SU8600高分辨率電子顯微鏡
產品特點:
采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的性能