高純氣體必須滿足2個條件:
1、主體成分含量必須大于某一定值。
2、各雜質組分含量必須小于某一定值。
電子工業用氣、儀器儀表校準用的零點氣、標準氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求,可列為高純氣體。
理論上,高純氣體的純度=主體成分含量=1-∑雜質含量。事實上,用實驗方法直接準確測定高純氣體中主體成分含量是非常困難的。既使象二氧化碳這類產品,可以通過規定的方法,直接測定得到“純度值”,但該值也包含有水分、酸性氣體及其它與強堿作用的成分。所以說,該“純度”也并非理論意義上的氣體純度。
而另外一種通過測定氣體中所含有的所有雜質成分,計算求得氣體純度(理論純度)的方法,同樣難以實現。
那么,目前市場上高純氣體產品的“純度”含義又是什么呢?筆者認為,所謂高純氣體純度是通過規定方法直接測得或扣除規定雜質計算求得的濃度值。這種規定是生產者和用戶依據生產過程和使用目的共同協商的結果。
評價高純氣體的質量,除進行“純度”指標評價外,還需依據標準對規定雜質進行逐一核對。任何一項超出規定的要求,都不能稱之為合格品。
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