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便攜式激光干涉儀器可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。
SJ6000便攜式激光干涉儀器配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。線性鏡組可以針對不同方向的運動軸而搭建相應(yīng)的測量光路。
直線度測量參數(shù)
系統(tǒng)主要組件
1、激光主機
準確——激光頻率穩(wěn)定度高,可溯源至國家標準。
主機由DC12V電源適配器供電,輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。
支持USB通信接口,可與計算機高速通信,兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配備的SCSI接口,可提供外部觸發(fā)信號輸入和正交信號輸出,以及其它擴展應(yīng)用。
2、EC20環(huán)境補償單元
可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環(huán)境補償。
激光干涉儀是以激光波長為載體,測量過程中環(huán)境條件(空氣溫度、濕度、氣壓)的變化會影響激光波長。
EC20環(huán)境補償單元可實時檢測環(huán)境條件的變化,同事進行激光波長補償。
EC20環(huán)境補償單元可連接三個材料溫度探頭,監(jiān)測被測對象其材料的溫度變化,同事進行材料的熱膨脹補償。
EC20環(huán)境補償單元采用低功耗設(shè)計,無需額外的供電電源,其工作電源集成于USB接口。
為了方便現(xiàn)場使用,EC20環(huán)境補償單元配備磁性掛板,溫度探頭的標準線長5m,亦可定制線長。
3、三腳架及便攜箱