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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
| 特點(diǎn) | 與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn)可以通過爐體滑動達(dá)到快速升溫和降溫 對于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量 可以沉積各種材料，如SiOx.SiNx.SiOxNy和（a-SiH） 等 |
| 開啟式管式爐 | 輸入電源∶208-240V AC，功率;1.2kW 工作溫度頂值1200℃，小于60分鐘 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)） 連續(xù)工作溫度1100°C 爐管采用高純石英管∶50mmOD x 44mmID x 1000mm L 可設(shè)置30段升降溫程序，并且?guī)в羞^熱和斷偶保護(hù)功能 加熱區(qū)長度∶200mm 單溫區(qū) 恒溫區(qū)2.3"（60mm）（+-15℃）@ 1000℃ 注∶ 由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測里結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員 |
| 等離子體射頻電源 | 輸出功率：5 .300W 可調(diào) 穩(wěn)定性±1% 射頻電源頻率∶ 13.56 MHz 穩(wěn)定性±0.005% 反向功率頂值∶ 200W 匹配∶ 自動 射頻電源電子輸出端口∶ 50 Ω，N型半導(dǎo)體，陰極 噪音∶ <50 dB. 冷卻∶風(fēng)冷 電源∶208-240VAC，50/60HZ |
| 真空法蘭和接頭 | 真空法蘭采用 304不銹鋼制作. 左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口，2個(gè)KF-25快速卸裝卡箍，KF-25直角閥，KF-25真空波紋管和 1/4軟管接頭和不銹鋼針閥 |
| 真空泵及水冷機(jī) | AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2Liter /S 出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康） 真空度∶ 10-2 torr 可選水冷機(jī) |
| 產(chǎn)品尺寸和重量 | 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm （長x寬x高） 凈重∶160kg |
| 質(zhì)保期 | 年質(zhì)保期，終身維護(hù)（相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certified |
| 使用注意事項(xiàng)： | 工作時(shí)需連接水冷設(shè)備 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由干氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會更加準(zhǔn)確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時(shí)間使用溫度< 1100℃ 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |