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凈化車間無塵室氣流分類星源潔凈為你解說
凈化車間無塵室氣流分類星源潔凈為你解說
在無塵車間的設(shè)計和改造過程中，無塵室氣流有很多種，每種方式都有他的優(yōu)點和缺點，在無塵室設(shè)計時一定要根據(jù)現(xiàn)場的實際情況進行選擇！一般無塵室分類，無塵室氣流分類，可分為以下幾種，把這幾種氣流方式弄清楚后，就更加容易進行凈化車間設(shè)計，無塵室設(shè)計了。這頁同時也介紹了無塵室換氣次數(shù)。
層流式：
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，此種型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。空氣由覆蓋率之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。
層流式又分為水平層流式和垂直層流式：
A，水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴重。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。
B，垂直層流式：在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域，房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度。
優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
是亂流式
亂流式的空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵室內(nèi)的高效空氣過濾器確進入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
復合式： 復合式是層流式和亂流式復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
A，潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
B，潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
C，并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。