雅馬拓等離子清洗機V1000產品特點：

■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗儀器，可對應更多復雜工藝.
●標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為accurate。
●液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調取數據簡單。
■安全性·保護
●標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據需要檢查設備的真空以及泄漏情況。
●裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
●發生器保護回路：超負荷或者RF發生器發生問題時，可自動調低頻率來保護發生器。
●門鎖開關：門在未*關閉時無法啟動電源。
●側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。
●緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
●當裝置發生異常時，裝置本體發出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥。（2）關閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警
■產品優勢
●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構造提高等離子處理效果。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
●可根據需求的具體情況提供產品定制服務。
●硅晶圓的灰化及蝕刻。
●基板表面污垢處理。
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有機物去除。
●界面活性處理。
●表面污染物去除

雅馬拓等離子清洗機V1000產品參數：